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公开(公告)号：CN117517805B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202311557078.9
申请日：2023-11-21
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本申请涉及电场传感器领域，尤其涉及一种谐振式静电场传感器及电场检测装置。谐振式静电场传感器包括感应电极、敏感结构、绝缘体和基底；感应电极与敏感结构之间的空间位置相对独立，提高感应电极的布置灵活性，可根据实际封装要求和检测精度需求，最大限定的提升传感器的有效感应面积，有利于提升检测精度，提高了电场传感器的分辨力。
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公开(公告)号：CN117517803B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311500694.0
申请日：2023-11-13
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开一种垂直调制的谐振式电场传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述传感器包括：感应电极、垂直驱动单元、衔接梁、激励输入锚点、感应输出锚点和扭转梁组；所述垂直驱动单元包括交叉设置的可动梳齿电极和固定梳齿电极，所述扭转梁组包括两个扭转梁；所述可动梳齿电极通过衔接梁与所述感应电极连接；所述可动梳齿电极的两侧分别与两个扭转梁刚性连接；所述固定梳齿电极与所述激励输入锚点连接；所述感应输出锚点与所述感应电极连接。本发明采用垂直驱动单元实现离面振动调制被测电场，使感应电极可以产生较大的感应电流，提升了电场传感器的灵敏度和分辨力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117665419A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311672035.5
申请日：2023-12-07
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开一种抗离子流干扰的谐振式静电场传感器及测量装置，属于传感器技术领域。本发明的谐振式静电场传感器设置可变电容结构使第一电场感应电极和/或第二电场感应电极的输出电压与施加在第一驱动电极和第二驱动电极上的驱动电压存在2倍频的关系，避免驱动电压与输出电压同频而导致的干扰噪声大、信噪比低的问题，本发明设置第一固定电极、第二固定电极、第一电场感应电极和第二电场感应电极，使该谐振式静电场传感器能够实现差分测量，消除离子流场对被测电场的影响，实现存在离子流的直流高压输电线路附近的直流电场准确测量。
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公开(公告)号：CN117517805A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311557078.9
申请日：2023-11-21
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本申请涉及电场传感器领域，尤其涉及一种谐振式静电场传感器及电场检测装置。谐振式静电场传感器包括感应电极、敏感结构、绝缘体和基底；感应电极与敏感结构之间的空间位置相对独立，提高感应电极的布置灵活性，可根据实际封装要求和检测精度需求，最大限定的提升传感器的有效感应面积，有利于提升检测精度，提高了电场传感器的分辨力。
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公开(公告)号：CN116259668A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202310132294.2
申请日：2023-02-17
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: H01L29/786 , H01L29/06 , H01L29/66
Abstract: 本申请涉及一种降低关态功耗的薄膜晶体管结构及其制备方法，涉及薄膜晶体管技术领域，该结构包括：设置在衬底上的源极和漏极；其中，源极、漏极之间的间隔区域设置有有源层；漏极与有源层接触的一侧设置有漏极隔离层。本申请通过在有源层中靠近漏极一端制备绝缘层，从而达到降低薄膜晶体管在关态时漏电流的目的，从而解决薄膜晶体管在保持阶段液晶偏压不稳定的问题。
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公开(公告)号：CN117665419B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311672035.5
申请日：2023-12-07
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开一种抗离子流干扰的谐振式静电场传感器及测量装置，属于传感器技术领域。本发明的谐振式静电场传感器设置可变电容结构使第一电场感应电极和/或第二电场感应电极的输出电压与施加在第一驱动电极和第二驱动电极上的驱动电压存在2倍频的关系，避免驱动电压与输出电压同频而导致的干扰噪声大、信噪比低的问题，本发明设置第一固定电极、第二固定电极、第一电场感应电极和第二电场感应电极，使该谐振式静电场传感器能够实现差分测量，消除离子流场对被测电场的影响，实现存在离子流的直流高压输电线路附近的直流电场准确测量。
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公开(公告)号：CN117517803A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311500694.0
申请日：2023-11-13
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开一种垂直调制的谐振式电场传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述传感器包括：感应电极、垂直驱动单元、衔接梁、激励输入锚点、感应输出锚点和扭转梁组；所述垂直驱动单元包括交叉设置的可动梳齿电极和固定梳齿电极，所述扭转梁组包括两个扭转梁；所述可动梳齿电极通过衔接梁与所述感应电极连接；所述可动梳齿电极的两侧分别与两个扭转梁刚性连接；所述固定梳齿电极与所述激励输入锚点连接；所述感应输出锚点与所述感应电极连接。本发明采用垂直驱动单元实现离面振动调制被测电场，使感应电极可以产生较大的感应电流，提升了电场传感器的灵敏度和分辨力。
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