MEMS器件及其制备方法、电子设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117730050A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202280001522.6

    申请日:2022-05-27

    Abstract: 一种MEMS器件,包括:第一介质基板(10),设置在第一介质基板(10)上的第一组件(100),第一组件(100)与第一介质基板(10)围成一活动空间;第一组件(100)具有述活动空间对应的第一部分;其中,第一部分具有至少一个第一开口(23),且在第一部分靠近第一介质基板(10)的一侧设置有凸起结构(60);凸起结构(60)与第一开口(23)在第一介质基板(10)上的正投影无重叠,且凸起结构(60)的厚度小于活动空间的高度。MEMS器件通过设置凸起结构,能够有效避免膜层发生粘附失效问题。还提供一种MEMS器件制备方法以及一种电子设备。

    天线单元及多波束天线
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119013842A

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202380008365.6

    申请日:2023-03-17

    Abstract: 本公开提供一种天线单元及多波束天线,属于通信技术领域。本公开的天线单元,其包括:第一介质基板,第一介质基板具有相对设置的第一表面和第二表面;参考电极层,设置在第二表面背离第一表面的一侧;第一馈线和辐射层,设置在第二表面背离第一表面的一侧,且第一馈线与辐射层电连接;至少一层超表面,包括第二介质基板和至少一个贴片单元;第二介质基板具有相对设置的第三表面和第四表面;第二表面和第三表面相对设置,贴片单元设置在第四表面背离第三表面的一侧,贴片单元包括间隔且并排设置的多个贴片结构;其中,对于任一贴片单元,经由辐射层辐射的电磁波经过各贴片结构的透射相位不同,且各贴片结构的透射相位依次增大或者依次减小。

    双频天线、天线阵列及电子设备
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118285022A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202280003887.2

    申请日:2022-10-31

    Abstract: 本公开提供一种双频天线、天线阵列及电子设备,属于通信技术领域。本公开的双频天线,其包括:介质基板,具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面;参考电极,设置在所述第一表面上;辐射元件、第一馈电枝节和第二馈电枝节,均设置在所述第二表面上,且第一馈电枝节与辐射元件的连接节点为第一馈馈点,第二馈电枝节与辐射元件的连接节点为第二馈点;辐射元件上具有第一槽部和第二槽部,第一槽部具有第一长度,所述第二槽部具有第二长度;所述第一长度和所述第二长度不等;所述第一长度和所述第二长度长度值,以及所述第一馈点和所述第二馈点的位置满足使得所述第一馈电枝节和所述第二馈电枝节通过所述辐射元件辐射出的微波信号的频率不同。

    一种振镜单元及其制备方法、扫描镜、雷达系统

    公开(公告)号:CN119165649A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202310729873.5

    申请日:2023-06-20

    Abstract: 本公开公开了一种振镜单元及其制备方法、扫描镜、雷达系统,振镜单元包括:键合设置的第一基板和第二基板,第二基板包括容置于空腔结构内的振镜结构,振镜结构具有转动轴,第一基板包括:静电驱动结构;平板电极,面向第二基板设置,且与静电驱动结构相互绝缘设置,静电驱动结构带动平板电极在第一方向上往复运动;平板电极包括位于转动轴不同侧的第一主电极和第二主电极;在静电驱动结构带动平板电极往复运动的过程中,第一主电极和第二主电极与振镜结构的交叠面积发生变化,使作用于振镜结构的静电吸引力发生改变,带动振镜结构沿着转动轴转动。

    电容式加速度计及其制备方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118226080A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202211632258.4

    申请日:2022-12-19

    Abstract: 本发明提供一种电容式加速度计,每组电容组包括两个结构相同,且方向相反的电容结构,其中,第一引线和第二引线设置于对应的表面上,且分别位于容置槽的对侧,第一引线和第二引线的一端均延伸至容置槽的边缘处;固定极板形成于容置槽的槽底,且固定极板的一端延伸至容置槽的第一引线所在一侧的边缘处,并与第一引线的一端连接;可动极板相对,且间隔设置于固定极板背离基底一侧,可动极板呈悬臂状,且可动极板的一端延伸至容置槽的第二引线所在一侧的边缘处,并与第二引线的一端连接。本发明提供的电容式加速度计及其制备方法,不仅可以降低制作难度,而且可以在制作过程中更容易控制电极间距、改变电极形状、面积等,从而有利于消除边缘效应。

    压力感应芯片与装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118980444A

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202411054804.X

    申请日:2024-08-01

    Abstract: 本公开提供了一种压力感应芯片与装置,涉及压力传感器技术领域,包括:基体;第一金属薄膜,与基体之间形成空腔;第二金属薄膜,位于空腔内部,且与第一金属薄膜相对设置,第二金属薄膜在空腔所在平面上的正投影与第一金属薄膜在空腔所在平面上的正投影至少部分交叠;以及,多个悬臂梁,位于第一金属薄膜一侧,多个悬臂梁沿第一金属薄膜的周向分布;其中,悬臂梁的一端与基体连接,另一端连接第一金属薄膜,且悬臂梁在空腔所在平面上的正投影与空腔有交叠。通过本公开提供的压力感应芯片,应用在压力传感器中可以提高压力传感器的灵敏度与线性度。

    一种移相器及天线
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116806394B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202280000065.9

    申请日:2022-01-25

    Abstract: 本公开提供一种移相器及天线,属于通信技术领域。本公开提供的一种移相器,包括第一基板;信号电极、第一参考电极和第二参考电极,设置在第一基板上;第一绝缘层,至少覆盖信号电极背离第一基板的一侧;至少一个膜桥电极组,设置在第一绝缘层背离信号电极一侧,膜桥电极组中包括多个绝缘设置的膜桥电极;信号电极在第一基板上的正投影位于第一参考电极和第二参考电极在第一基板上的正投影之间;膜桥电极的桥面与信号电极在第一基板上的正投影部分重叠,且膜桥电极的桥面的延伸方向与信号电极的延伸方向相交;至少一个膜桥电极的桥面与信号电极之间具有一定间隙,且同一膜桥电极组中的多个膜桥电极的桥面与信号电极之间的间距不同。

Patent Agency Ranking