制备多晶的直流还原系统中的多路斩波器电源系统

    公开(公告)号:CN101860213B

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:CN201010163163.3

    申请日:2010-04-29

    Abstract: 一种制备多晶的直流还原系统中的多路斩波器电源系统,涉及用多路斩波器模块进行串并联工作制备多晶还原设备的电源。目的是实现直流还原系统中的多路斩波器模块的并联运行;模块化的斩波器直流电源系统在要求较大电流供电时无需另外增加一台大功率斩波器,大大减小电源系统的体积,成本降低,工作的可靠性。该系统由多路斩波器调压模块组成,需要独立调压时斩波器模块U1~Un分别单独给硅棒负载R1~Rn供电;需要并联调压时斩波器模块U1~Un输出端的正极短接,即U1+,U2+,…,Un+连接在一起,输出端的负极短接,即U1-,U2-,…,Un-连接在一起,此时多路斩波器模块并联为R1,R2,…,Rn串联后的负载提供能量。

    一种通过峰值电流控制L-Boost多电平电路输出均压的方法

    公开(公告)号:CN105610337A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201610114795.8

    申请日:2016-03-01

    CPC classification number: H02M7/483 H02M1/14

    Abstract: 本发明涉及一种通过峰值电流控制L-Boost多电平电路输出均压的方法,前K-1个Boost回路中,将每路输出电容电压的给定基准值与采样值作比较,其差值与输入总误差作比较,最终得到相应电感电流峰值基准Isetk,电感电流峰值基准Isetk与采样所得电感电流值比较并控制相应回路主开关管;最后1个Boost回路中,通过总输出电容电压设定值与采样值的比较,得到总的差值,其在与每一路Boost回路的电容电压比较差值之和相加,经PI调节后,得到相应电感电流峰值基准Isetk,之后控制方式与前K-1路相同。本发明,加快了输出电容均压的速度和稳定性,使得输出串联电容电压平衡,降低了对开关管电压应力的要求;减少了输出纹波,增加了输出的精确程度。

    一种制备多晶硅的直流还原电源

    公开(公告)号:CN102624253A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210074824.4

    申请日:2012-03-20

    CPC classification number: Y02B70/126

    Abstract: 本发明公开了电路设计技术领域中的一种制备多晶硅的直流还原电源,用以解决传统多晶硅制备过程中还原电源存在的电能质量问题。该直流还原电源包括移相整流变压器和直流斩波变换器;移相整流变压器的初级绕组采用三角形连接方式,移相整流变压器的次级绕组之间移相20度且携带一组二极管整流单元;直流斩波变换器由高频直流斩波器组构成,每组高频直流斩波器包括第一斩波电路、第二斩波电路、第三斩波电路、第一切换开关组、第二切换开关组、第三切换开关组、第四切换开关组、第一二极管和第二二极管;直流斩波变换器中斩波电路的数量与所述直流还原电源的负载数量一致。本发明解决了传统多晶硅制备过程中还原电源存在的电能质量问题。

    一种通过峰值电流控制L-Boost多电平电路输出均压的方法

    公开(公告)号:CN105610337B

    公开(公告)日:2019-04-30

    申请号:CN201610114795.8

    申请日:2016-03-01

    Abstract: 本发明涉及一种通过峰值电流控制L‑Boost多电平电路输出均压的方法,前K‑1个Boost回路中,将每路输出电容电压的给定基准值与采样值作比较,其差值与输入总误差作比较,最终得到相应电感电流峰值基准Isetk,电感电流峰值基准Isetk与采样所得电感电流值比较并控制相应回路主开关管;最后1个Boost回路中,通过总输出电容电压设定值与采样值的比较,得到总的差值,其在与每一路Boost回路的电容电压比较差值之和相加,经PI调节后,得到相应电感电流峰值基准Isetk,之后控制方式与前K‑1路相同。本发明,加快了输出电容均压的速度和稳定性,使得输出串联电容电压平衡,降低了对开关管电压应力的要求;减少了输出纹波,增加了输出的精确程度。

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