-
公开(公告)号：CN102623287B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201210042156.7
申请日：2012-02-22
Applicant: 北京交通大学
IPC: H01J37/244 , H01J37/02
Abstract: 本发明公开了属于等离子体诊断技术领域的一种真空放电等离子体的离子流检测装置及方法。此发明主要特征是采用施加负电位的栅网对等离子体进行控制。一种真空放电等离子体的离子流检测装置结构如下：控制栅网布置在圆筒状物体的前端，加速电极和收集板布置在管两端，第一、第二栅网依次安装在收集板前面；等离子体源、管处于真空室中，控制栅网连接控制信号发生器，加速电极连接加速电压波形发生器。本发明的有益效果为：1)便于分析放电等离子体在空间传输的特性。2)可以对任意一段等离子体进行测量。3)通过施加适当的阻挡电位就能实现等离子体的开断控制。4)结构简单，测量精度高，抗干扰能力强，可以有效的检测到离子电流大小。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102623287A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210042156.7
申请日：2012-02-22
Applicant: 北京交通大学
IPC: H01J37/244 , H01J37/02
Abstract: 本发明公开了属于等离子体诊断技术领域的一种真空放电等离子体的离子流检测装置及方法。此发明主要特征是采用施加负电位的栅网对等离子体进行控制。一种真空放电等离子体的离子流检测装置结构如下：控制栅网布置在圆筒状物体的前端，加速电极和收集板布置在管两端，第一、第二栅网依次安装在收集板前面；等离子体源、管处于真空室中，控制栅网连接控制信号发生器，加速电极连接加速电压波形发生器。本发明的有益效果为：1)便于分析放电等离子体在空间传输的特性。2)可以对任意一段等离子体进行测量。3)通过施加适当的阻挡电位就能实现等离子体的开断控制。4)结构简单，测量精度高，抗干扰能力强，可以有效的检测到离子电流大小。
-
公开(公告)号：CN102610480A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210042947.X
申请日：2012-02-22
Applicant: 北京交通大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明公开了属于等离子体诊断技术领域的一种真空放电等离子体参数的测量装置及方法。此发明主要特征是采用施加负电位的栅网对等离子体进行控制。一种真空放电等离子体参数的测量装置的结构如下：栅网、第一探针和第二探针依次安装在等离子体传输通道上，栅网连接控制信号发生器，第一探针连接DC1直流电源和C1电容的公共节点，第二探针连接DC2直流电源和C2电容的公共节点。本发明的有益效果为：1)对单个或连续脉冲放电产生的、在不同空间或时间点处分布的等离子体特性进行诊断。2)通过施加适当的阻挡电位就能实现等离子体的开断控制。3)便于分析放电等离子体在空间的传输特性。4)结构简单，测量精度高，抗干扰能力强。
-
公开(公告)号：CN102568974A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210009033.3
申请日：2012-01-12
Applicant: 北京交通大学
IPC: H01J1/16 , H01J1/36 , H01J37/08 , H01J37/317 , F03H1/00
Abstract: 一种放电电极，包括：锥状阴极、环状阳极和支撑构件；其中，所述锥状阴极的锥端与所述环状阳极的圆形端面中心相对准，且二者均设置于所述支撑构件上。真空放电过程中，在本发明的环状阳极后侧可以获得高密度、大面积的金属等离子体。本发明另外还提供一种应用该放电电极的等离子体发生装置。
-
公开(公告)号：CN102610480B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201210042947.X
申请日：2012-02-22
Applicant: 北京交通大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明公开了属于等离子体诊断技术领域的一种真空放电等离子体参数的测量装置及方法。此发明主要特征是采用施加负电位的栅网对等离子体进行控制。一种真空放电等离子体参数的测量装置的结构如下：栅网、第一探针和第二探针依次安装在等离子体传输通道上，栅网连接控制信号发生器，第一探针连接DC1直流电源和C1电容的公共节点，第二探针连接DC2直流电源和C2电容的公共节点。本发明的有益效果为：1)对单个或连续脉冲放电产生的、在不同空间或时间点处分布的等离子体特性进行诊断。2)通过施加适当的阻挡电位就能实现等离子体的开断控制。3)便于分析放电等离子体在空间的传输特性。4)结构简单，测量精度高，抗干扰能力强。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.018 seconds)
