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公开(公告)号：CN115662866B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211503688.6
申请日：2022-11-29
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
发明人： 李文龙
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/317
摘要： 本发明公开了一种二次电子探测装置，包括：栅网电极，用于吸引带电粒子；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出，电子探测单元包括：光导管组件，包括固定轴套和设置在固定轴套内的光导管；光电倍增组件，包括接口法兰和光电倍增管，光电倍增管一端固连在接口法兰上，另一端伸入到固定轴套内，并抵靠在光导管的端部上，固定轴套与接口法兰可拆卸地连接固定；接口法兰与光导管组件之间设置有定位件，定位件一端轴向限位在接口法兰上，另一端插塞到固定轴套与光电倍增管之间形成的配合间隙内，并抵靠在光导管的端部上。本发明中光电倍增管采用浸入式结构设计，可将光导管进行缩短设计，减少光信号的损耗，提高探测效率。
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公开(公告)号：CN115662866A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211503688.6
申请日：2022-11-29
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
发明人： 李文龙
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/317
摘要： 本发明公开了一种二次电子探测装置，包括：栅网电极，用于吸引带电粒子；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出，电子探测单元包括：光导管组件，包括固定轴套和设置在固定轴套内的光导管；光电倍增组件，包括接口法兰和光电倍增管，光电倍增管一端固连在接口法兰上，另一端伸入到固定轴套内，并抵靠在光导管的端部上，固定轴套与接口法兰可拆卸地连接固定；接口法兰与光导管组件之间设置有定位件，定位件一端轴向限位在接口法兰上，另一端插塞到固定轴套与光电倍增管之间形成的配合间隙内，并抵靠在光导管的端部上。本发明中光电倍增管采用浸入式结构设计，可将光导管进行缩短设计，减少光信号的损耗，提高探测效率。
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公开(公告)号：CN116008746B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202211709216.6
申请日：2022-12-29
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
发明人： 李文龙
摘要： 本发明公开了一种电子枪用耐压测试装置，固定电源；高压转接装置，与所述固定电源连接，适于将固定电源输出的预设电压等电位输送并作用于电子枪，以对电子枪进行耐压测试；所述高压转接装置包括高压转接接头，所述高压转接接头上设有适于分别与电子枪和固定电源电连接的接口结构。本发明可对电子枪进行高压打火试验和高压老化测试，以保证与电子枪连接的电子光学系统工作的稳定性，避免电子枪在正常使用时连通高压电的瞬间出现打火或拉弧等放电现象，影响设备正常使用。
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公开(公告)号：CN118068105A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410075159.3
申请日：2024-01-18
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及电子源性能测试技术领域，提供了一种用于测试电子源性能的装置，包括：本体，具有中空的真空腔，被测试的电子源适于设置在所述真空腔内；法拉第杯，与所述真空腔之间绝缘地设置在所述真空腔内，所述法拉第杯的接收端朝向被测试的电子源的发射端设置，以接收电子束；微电流计，设置在所述本体上，且与所述法拉第杯电连接，以将所述法拉第杯接收的电子束信号转化成电流信号。本发明提供的用于测试电子源性能的装置，可以将被测试的电子源安装在真空腔内，当被测试的电子源发射电子束后，可以通过法拉第杯来收集电子束信号，之后再通过微电流计获取到电子束的电流信号，最终根据电流信号呈现的结果来对被测试的电子源性能进行评价。
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公开(公告)号：CN116008746A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211709216.6
申请日：2022-12-29
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
发明人： 李文龙
摘要： 本发明公开了一种电子枪用耐压测试装置，固定电源；高压转接装置，与所述固定电源连接，适于将固定电源输出的预设电压等电位输送并作用于电子枪，以对电子枪进行耐压测试；所述高压转接装置包括高压转接接头，所述高压转接接头上设有适于分别与电子枪和固定电源电连接的接口结构。本发明可对电子枪进行高压打火试验和高压老化测试，以保证与电子枪连接的电子光学系统工作的稳定性，避免电子枪在正常使用时连通高压电的瞬间出现打火或拉弧等放电现象，影响设备正常使用。
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公开(公告)号：CN113707522B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202110990901.X
申请日：2021-08-26
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
发明人： 李文龙
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/317
摘要： 本申请提供了一种固定装置、一种扫描电镜以及一种电子束曝光机。本申请所提供的固定装置直接固定于电子光学系统下，使用时无需调节位置，因此无需预留调节位置所需的垂直空间。由于减小了背散射探测器占用的垂直空间，电子光学系统与样品台之间的工作距离可以足够近以满足高精度观测的需求。
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公开(公告)号：CN113707522A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110990901.X
申请日：2021-08-26
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
发明人： 李文龙
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/317
摘要： 本申请提供了一种固定装置、一种扫描电镜以及一种电子束曝光机。本申请所提供的固定装置直接固定于电子光学系统下，使用时无需调节位置，因此无需预留调节位置所需的垂直空间。由于减小了背散射探测器占用的垂直空间，电子光学系统与样品台之间的工作距离可以足够近以满足高精度观测的需求。
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