Invention Grant
- Patent Title: 固定装置、扫描电镜和电子束曝光机
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Application No.: CN202110990901.XApplication Date: 2021-08-26
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Publication No.: CN113707522BPublication Date: 2022-07-08
- Inventor: 李文龙
- Applicant: 北京中科科仪股份有限公司
- Applicant Address: 北京市海淀区中关村北二条13号
- Assignee: 北京中科科仪股份有限公司
- Current Assignee: 北京中科科仪股份有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区中关村北二条13号
- Agency: 北京布瑞知识产权代理有限公司
- Agent 张欣
- Main IPC: H01J37/244
- IPC: H01J37/244 ; H01J37/28 ; H01J37/317
Abstract:
本申请提供了一种固定装置、一种扫描电镜以及一种电子束曝光机。本申请所提供的固定装置直接固定于电子光学系统下，使用时无需调节位置，因此无需预留调节位置所需的垂直空间。由于减小了背散射探测器占用的垂直空间，电子光学系统与样品台之间的工作距离可以足够近以满足高精度观测的需求。
Public/Granted literature
- CN113707522A 固定装置、扫描电镜和电子束曝光机 Public/Granted day:2021-11-26
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