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公开(公告)号：CN118610161A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410911694.8
申请日：2024-07-09
申请人： 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学 , 武汉工程大学
IPC分类号： H01L21/768 , H01L23/532 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/04
摘要： 本发明公开了一种铜互连集成电路的扩散阻挡层及其制备方法，提出新型非晶夹结晶三层结构扩散阻挡层，首先在Si或low‑K衬底上沉积一层非晶态二元合金层，其次在非晶态合金层上沉积结晶态合金层，最后在结晶态合金层上再沉积一层非晶态合金层，进而制备成三层结构的扩散阻挡层。本发明的一种铜互连集成电路的扩散阻挡层采用二元合金构建，相较于传统的氮化物陶瓷阻挡层来说与Cu的热膨胀系数更适配，且粘附性好，结合力强，无需再沉积金属粘附层；其制备方法采用双靶磁控溅射系统沉积扩散阻挡层，只需要调控双靶的溅射功率调控溅射元素的成分比以制备不同结晶形态的二元合金薄膜，沉积过程无需对系统中的原料进行更换调整，工艺简单，操作便捷。
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公开(公告)号：CN118374767A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410609892.9
申请日：2024-05-16
申请人： 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
摘要： 本发明提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置及其镀膜方法。磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；环形靶系统与电动滑轨滑动连接；滑轨传动装置位于管材的一端与电动滑轨传动连接；真空系统位于管材的另一端。本申请实施例通过在电动滑轨上设置键钮填充通孔，环形靶系统按压键钮即时连通并释放气体，其他键钮保持密封，提高了不同区域气体浓度的均匀性，解决了镀膜均匀性、稳定性不足的问题；设备结构简单，各系统之间相互独立，仪器的维修和查错方便。
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公开(公告)号：CN117051304A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311080095.8
申请日：2023-08-25
申请人： 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学 , 武汉工程大学
摘要： 本发明公开了一种高强韧铸态多主元合金及其制备方法，所述多主元合金由元素Al、Mo、Ta、Nb、Ti、Zr与Cr组成，通过备料、制备CrAl合金以及制备多主元合金等步骤，最终制得成分为Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZrCrx的高强韧铸态多主元合金。本发明的一种高强韧铸态多主元合金及其制备方法通过添加Cr的方法改善Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZr多主元合金的性能，Cr与原始合金Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZr具有同样的体心立方结构，且与其它组成元素相比，Cr具有原子半径较小、密度较低的特点，其能有效固溶至原有多主元合金晶格之中，降低原有体系的价电子浓度，从而提升其强度、硬度和极限应变，并降低其密度，实现轻质高强高韧，制备工艺简单。
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公开(公告)号：CN117430499A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311323073.X
申请日：2023-10-12
申请人： 武汉理工大学
摘要： 本发明涉及一种碱式甲酸铁纳米酶及其制备方法与应用，所述碱式甲酸铁纳米酶的制备方法如下：向碱性溶液中缓慢均匀加入铁盐溶液，然后静置下进行复分解反应生成氢氧化铁沉淀，将所得沉淀进行离心洗涤，再透析得到纯化后的沉淀，随后将所得纯化后的沉淀分散于去离子水中得到氢氧化铁分散液，再缓慢均匀加入甲酸，搅拌下中和反应，随后冻干得到碱式甲酸铁纳米酶。本发明提供的碱式甲酸铁纳米酶为片状纳米结构，具有良好的类氧化酶活性，使用其进行乙酰胆碱酯酶体外检测时操作简单，无需加入任何中间物质，可实现对乙酰胆碱酯酶的直接检测，检测快速灵敏，颜色变化明显，抗干扰能力强，因此可用于对乙酰胆碱酯酶浓度进行定性定量检测。
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公开(公告)号：CN114686803B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202210279445.2
申请日：2022-03-22
申请人： 武汉理工大学
IPC分类号： C23C12/00
摘要： 本发明提供一种微波等离子体化学气相沉积制备的三元氮化物涂层及方法，属于涂层制备技术领域。一种微波等离子体化学气相沉积的三元氮化物涂层，所述三元氮化物涂层的分子形式为M1‑xDxNy。一种微波等离子体化学气相沉积制备三元氮化物涂层的方法，包括以下步骤；（1）基体清洗、预处理；（2）进行第一次微波等离子体化学气相沉积，金属基体表面形成固溶体和或金属间化合物；（3）进行第二次微波等离子体化学气相沉积，开始沉积三元氮化物涂层。本发明中的三元氮化物涂层中均匀分布微量固溶体或金属间化合物，起到弥散强化、增强涂层性能的作用，涂层表现出更优的高温服役特性；本发明中的方法具有更高的沉积效率，能获得较厚的三元氮化物涂层。
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公开(公告)号：CN118268575A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410565624.1
申请日：2024-05-09
申请人： 武汉理工大学
摘要： 本发明涉及难熔金属多主元合金领域，尤其涉及一种难熔金属多主元合金粉体的制备方法。本发明利用氢致开裂使难熔金属高熵合金块体在退火过程中产生分布较为均匀的高密度裂纹，使难熔金属高熵合金块体逐渐破碎成粉体本发明能获得具有单一物相或多种物相组合而成的难熔多主元合金粉体，物相与原合金接近一致，且元素分布均匀；本发明在制备粉体时，退火过程无需借助机械力量的施加，也无需提前将块体碾磨成为块体，仅需借助氢致开裂的原理，使块体变为均匀粉体，可简化制备流程、避免引入杂质；本发明的制备工艺简单、合成周期短，适用于大规模批量生产。
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公开(公告)号：CN115215663B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202210847324.3
申请日：2022-07-19
申请人： 武汉理工大学
IPC分类号： C04B35/58 , C04B35/622 , C04B35/64 , C04B35/626
摘要： 本发明提供一种高致密纯相CrN陶瓷的制备方法，属于陶瓷技术领域。本发明为一种高致密纯相CrN陶瓷的制备方法，包括以下步骤；（1）将CrN粉体置于气氛炉中，在氨气气氛下进行氮化处理，得到高纯CrN粉体原料；（2）将高纯CrN粉体原料装入石墨模具中，进行等离子活化烧结，得到高致密纯相CrN陶瓷，等离子活化烧结过程中升温速率为100~200℃/min，烧结温度为1100~1300℃，保温时长为1~10min，烧结压力为50~100MPa。本发明首先以CrN粉体为原料，利用氨解氮化工艺，进行纯化处理，使粉体中的Cr2N杂相氮化为CrN相，得到物相单一的高纯CrN粉体原料；再利用等离子活化烧结，在1100~1300℃下实现CrN粉体的快速致密化并抑制烧结过程中的相分解，得到物相单一、结构致密的CrN陶瓷。
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公开(公告)号：CN115611242A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202211220580.6
申请日：2022-10-08
申请人： 武汉理工大学
摘要： 本发明涉及金属氮化物技术领域，尤其涉及一种难熔金属高熵氮化物粉体及其制备方法。这种制备方法，包括以下步骤：使用电弧熔炼的方法将原料熔炼，制得难熔金属高熵合金块体；所述原料包括至少四种难熔金属；对所述难熔金属高熵合金块体进行氮化处理，得到难熔金属高熵氮化物粉体。本申请能够获得单一物相的难熔金属高熵氮化物粉体，而非二元或者三元氮化物的混合物，且各元素分布均匀，纯度高。
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公开(公告)号：CN114883495A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210521599.8
申请日：2022-05-13
申请人： 武汉理工大学
摘要： 本发明涉及一种平米级钙钛矿太阳能电池组件及其制备方法，所述太阳能电池组件由多个电池单元并联而成，每个电池单元由多个钙钛矿太阳能电池串联并进行层压封装得到，所述钙钛矿太阳能电池从下至上包括金属基底、底电极、电子传输层、钙钛矿活性层、空穴传输层、氧化钼层及透明电极，每个电池单元内各钙钛矿太阳能电池制备于同一块金属基底上，并采用导电胶带进行串联。本发明提供的平米级钙钛矿太阳能电池组件基于金属基底制备得到，可以直接在大面积的金属基底上制备太阳能电池组件或采用拼接的方式将多个小组件并联拼接为大面积钙钛矿组件，实现平米级组装，成品率高，有望实现规模化应用。
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公开(公告)号：CN114740545A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210362575.2
申请日：2022-04-07
申请人： 武汉理工大学
摘要： 本发明公开了一种适用于无接触式生命监测仪的辅助装置，涉及生命监测仪技术领域，该适用于无接触式生命监测仪的辅助装置，包括安装板，所述安装板的上表面设置有生命探测仪，生命探测仪上设置有探测杆，安装板相反的两侧表面上固定连接有弹性腰带，两个弹性腰带相邻的一侧固定连接有背板，背板面向安装板的一侧表面上固定连接有摩擦凸块，该适用于无接触式生命监测仪的辅助装置，通过将该装置套设在搜救人员的腰间，安装板与搜救人员的腹部接触，而背板与搜救人员的背部接触，这样从而达到对生命探测仪形成支撑效果，不需要手持生命探测仪的方式进行生命探测的操作，进一步降低了搜救作业时的工作力度，提高了搜救人员搜救作业时的效率。
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