在压印光刻工艺中配置光学层
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117806119A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202410025025.0

    申请日:2017-09-14

    IPC分类号: G03F7/00

    摘要: 本发明涉及在压印光刻工艺中配置光学层。配置光学层的压印光刻方法包括利用图案化模板在衬底的一面上压印具有第一数量级的尺寸的第一特征,同时利用图案化模板在衬底的该面上压印具有第二数量级的尺寸的第二特征,第二特征尺寸确定且布置成在衬底与相邻表面之间限定一间隙。

    在压印光刻工艺中配置光学层

    公开(公告)号:CN110383168B

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN201880015078.7

    申请日:2018-01-31

    IPC分类号: G03F7/00 G03F7/16 B82Y40/00

    摘要: 一种配置光学层的压印光刻方法,包括以这样的方式在衬底的一面的顶部上沉积一组液滴,即该组液滴不接触形成在衬底上的功能图案。该压印光刻方法还包括固化该组液滴以形成间隔层,该间隔层与衬底的所述一面相关联且具有选择为使得该间隔层可以支承与衬底相邻并且在与功能图案间隔开的位置处跨越该组液滴的表面的高度。

    多波导光场显示
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110023801B

    公开(公告)日:2021-10-26

    申请号:CN201780073732.5

    申请日:2017-09-15

    摘要: 一种多波导光学结构,包括多个波导,该多个波导被堆叠为拦截顺序传播通过每个波导的光,每个波导与不同颜色和不同平面深度相关联,每个波导包括:第一粘合层;具有第一折射率的基板;以及图案化的层,该图案化的层被定位为使得第一粘合层位于图案化的层与基板之间,第一粘合层提供图案化的层与基板之间的粘合,图案化的层具有小于第一折射率的第二折射率,图案化的层限定衍射光栅,其中,与波导相关联的视场是基于第一折射率和第二折射率的。

    制造单片光子器件的方法、光子器件

    公开(公告)号:CN109804275B

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN201780052297.8

    申请日:2017-08-23

    摘要: 制造高折光指数光子器件包括将可聚合组合物布置在第一衬底的第一表面上和使所述可聚合组合物与第二衬底的第一表面接触,由此将所述可聚合组合物铺展在第一衬底的第一表面上。将所述可聚合组合物固化以产生聚合物结构,其具有与第一衬底的第一表面接触的第一表面、与聚合物结构的第一表面相反并与第二衬底的第一表面接触的第二表面和10μm至1cm的在聚合物结构的第一表面和聚合物结构的第二表面之间的选择的残留层厚度。将所述聚合物结构与第一衬底和第二衬底分离以产生具有至少1.6的折光指数的单片光子器件。

    在压印光刻工艺中配置光学层
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116449646A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310432964.2

    申请日:2018-01-31

    IPC分类号: G03F7/00

    摘要: 本发明涉及在压印光刻工艺中配置光学层。一种配置光学层的压印光刻方法,包括以这样的方式在衬底的一面的顶部上沉积一组液滴,即该组液滴不接触形成在衬底上的功能图案。该压印光刻方法还包括固化该组液滴以形成间隔层,该间隔层与衬底的所述一面相关联且具有选择为使得该间隔层可以支承与衬底相邻并且在与功能图案间隔开的位置处跨越该组液滴的表面的高度。

    生成虚拟内容显示
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110121672B

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN201780073910.4

    申请日:2017-10-04

    摘要: 一种生成虚拟图像的方法,包括将光束引导到目镜的第一侧,其中包括将所述光束透射到目镜的第一波导内;通过第一波导的第一衍射元件将光束的第一部分朝向目镜的第二波导偏转,光束的第一部分与光的第一相位相关联;通过位于目镜的第一侧上的突起将光束的第二部分朝向第二波导偏转,光束的第二部分与不同于第一相位的光的第二相位相关联;以及通过第二波导的第二衍射元件将光束的第一部分和第二部分中的一些部分偏转,以提供与虚拟图像相关联的基于第一相位和第二相位的出射光束。

    多波导光场显示
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110023801A

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201780073732.5

    申请日:2017-09-15

    摘要: 一种多波导光学结构,包括多个波导,该多个波导被堆叠为拦截顺序传播通过每个波导的光,每个波导与不同颜色和不同平面深度相关联,每个波导包括:第一粘合层;具有第一折射率的基板;以及图案化的层,该图案化的层被定位为使得第一粘合层位于图案化的层与基板之间,第一粘合层提供图案化的层与基板之间的粘合,图案化的层具有小于第一折射率的第二折射率,图案化的层限定衍射光栅,其中,与波导相关联的视场是基于第一折射率和第二折射率的。