公开(公告)号：CN114867802A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202080088088.0

申请日：2020-10-30

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 崔辅爀 ,  李载鹤 ,  李在祐 ,  金智慧 ,  李在益

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14

Abstract: 本发明涉及一种用于抛光有机膜的浆料组合物，根据本发明一实施例的用于抛光有机膜的浆料组合物包括：研磨粒子；包括有机酸、无机酸或两者的抛光调节剂；包括酰胺类化合物或酰胺类聚合物的有机膜抛光增强剂；氧化剂；以及pH调节剂。

公开(公告)号：CN114867802B

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202080088088.0

申请日：2020-10-30

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 崔辅爀 ,  李载鹤 ,  李在祐 ,  金智慧 ,  李在益

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14

Abstract: 本发明涉及一种用于抛光有机膜的浆料组合物，根据本发明一实施例的用于抛光有机膜的浆料组合物包括：研磨粒子；包括有机酸、无机酸或两者的抛光调节剂；包括酰胺类化合物或酰胺类聚合物的有机膜抛光增强剂；氧化剂；以及pH调节剂。

公开(公告)号：CN108690505A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810269562.4

申请日：2018-03-29

Applicant: 三星电子株式会社 ,  凯斯科技股份有限公司

Inventor： 文斗植 ,  朴尚铉 ,  尹普彦 ,  金镐永 ,  朴世廷 ,  李载鹤 ,  黄珍明

IPC: C09G1/02

Abstract: 提供一种用于化学机械抛光的浆料组合物，所述浆料组合物包括：陶瓷抛光颗粒；分散剂；pH控制剂；以及与氮化硅具有亲和性的添加剂。