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公开(公告)号：CN108690505A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810269562.4
申请日：2018-03-29
Applicant: 三星电子株式会社 , 凯斯科技股份有限公司
Inventor： 文斗植 , 朴尚铉 , 尹普彦 , 金镐永 , 朴世廷 , 李载鹤 , 黄珍明
IPC: C09G1/02
Abstract: 提供一种用于化学机械抛光的浆料组合物，所述浆料组合物包括：陶瓷抛光颗粒；分散剂；pH控制剂；以及与氮化硅具有亲和性的添加剂。
