公开(公告)号：CN100587867C

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200510087909.6

申请日：2005-07-29

Applicant: 冲电气工业株式会社

Inventor： 小岩一郎 ,  足利欣哉

IPC: H01G4/33 ,  H01G4/30

CPC classification number: H01L27/016 ,  H01L23/5223 ,  H01L28/40 ,  H01L28/65 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种薄膜电容器，在下部电极、高电介质膜、上部电极各层之间有紧密接合性、与其他层之间有高紧密接合性、且有优异的高频特性。在具有下部电极、在下部电极上设置的高电介质膜、以及在高电介质膜上设置的上部电极的薄膜电容器中，对上部电极、高电介质膜以及下部电极中的至少一者设有多个开口部。特别是对用绝缘膜覆盖的上部电极设有多个开口部。

公开(公告)号：CN1744245A

公开(公告)日：2006-03-08

申请号：CN200510087909.6

申请日：2005-07-29

Applicant: 冲电气工业株式会社

Inventor： 小岩一郎 ,  足利欣哉

IPC: H01G4/33 ,  H01G4/30

CPC classification number: H01L27/016 ,  H01L23/5223 ,  H01L28/40 ,  H01L28/65 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种薄膜电容器，在下部电极、高电介质膜、上部电极各层之间有紧密接合性、与其他层之间有高紧密接合性、且有优异的高频特性。在具有下部电极、在下部电极上设置的高电介质膜、以及在高电介质膜上设置的上部电极的薄膜电容器中，对上部电极、高电介质膜以及下部电极中的至少一者设有多个开口部。特别是对用绝缘膜覆盖的上部电极设有多个开口部。