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公开(公告)号：CN1334312A
公开(公告)日：2002-02-06
申请号：CN01120328.5
申请日：2001-07-24
Applicant: 关东化学株式会社
CPC classification number: H01L21/32115 , H01L29/66757
Abstract: 本发明提供一种廉价的表面处理溶液,能够选择性地降低在玻璃等绝缘衬底上通过激光退火法形成的多晶硅膜表面的平均粗糙度(Ra)。该多晶硅膜的表面处理溶液,实质上由0.01－0.5质量%的氢氟酸或者0.5－5质量%的氟化铵、50.0－80.0质量%的硝酸和水组成。
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