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公开(公告)号：CN101949747A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010272928.7
申请日：2010-09-03
Applicant: 兰州交通大学
IPC: G01K15/00
Abstract: 湿度传感元件动态响应特性标定测量系统及测量方法，测量系统包括恒温水浴箱体、温度及电源控制箱、计算机和数字电桥，计算机分别与温度及电源控制箱和数字电桥相连接，恒温水浴箱体内设置有加热装置、高-低湿度发生器和温度传感器，温度及电源控制箱分别与湿度发生器、加热装置和温度传感器电连接；测量湿度传感元件在不同湿度条件下的静态电容值，并据此计算出不同百分数幅值对应的电容值，测量湿度切换过程中湿度传感元件的动态电容值，将该动态电容值与不同百分数幅值对应的电容值进行比对，得出不同湿度变化幅值下的动态响应时间。本发明标定测量系统能实现不同湿度环境之间的快速切换，切换时间250～300ms，操作简单，结果精确。
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公开(公告)号：CN101949878B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201010272929.1
申请日：2010-09-03
Applicant: 兰州交通大学
Abstract: 一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极，下层金属层为下电极，上、下金属层之间为感湿层，其特征在于所述上电极为栅状布置，所述感湿层以聚酰亚胺为感湿膜。制作方法是采用微电子工艺，经过：清洗并且氧化极片、蒸镀下电极、涂聚酰亚胺、亚胺化、溅射上电极、一次光刻、二次光刻、三次光刻及切片、压焊、封装等工艺过程制备而成。本发明选用一种新型的聚酰亚胺为感湿材料，吸湿和脱湿响应速度快；上下电极的结构更有利于快速检测湿敏膜中水浓度的细微变化；另外膜厚度的可控范围对快速响应也有贡献，本发明响应速度指标达到500ms。
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公开(公告)号：CN101949747B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201010272928.7
申请日：2010-09-03
Applicant: 兰州交通大学
Abstract: 湿度传感元件动态响应特性标定测量系统及测量方法，测量系统包括恒温水浴箱体、温度及电源控制箱、计算机和数字电桥，计算机分别与温度及电源控制箱和数字电桥相连接，恒温水浴箱体内设置有加热装置、高-低湿度发生器和温度传感器，温度及电源控制箱分别与湿度发生器、加热装置和温度传感器电连接；测量湿度传感元件在不同湿度条件下的静态电容值，并据此计算出不同百分数幅值对应的电容值，测量湿度切换过程中湿度传感元件的动态电容值，将该动态电容值与不同百分数幅值对应的电容值进行比对，得出不同湿度变化幅值下的动态响应时间。本发明标定测量系统能实现不同湿度环境之间的快速切换，切换时间250～300ms，操作简单，结果精确。
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公开(公告)号：CN101949878A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010272929.1
申请日：2010-09-03
Applicant: 兰州交通大学
Abstract: 一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极，下层金属层为下电极，上、下金属层之间为感湿层，其特征在于所述上电极为栅状布置，所述感湿层以聚酰亚胺为感湿膜。制作方法是采用微电子工艺，经过：清洗并且氧化极片、蒸镀下电极、涂聚酰亚胺、亚胺化、溅射上电极、一次光刻、二次光刻、三次光刻及切片、压焊、封装等工艺过程制备而成。本发明选用一种新型的聚酰亚胺为感湿材料，吸湿和脱湿响应速度快；上下电极的结构更有利于快速检测湿敏膜中水浓度的细微变化；另外膜厚度的可控范围对快速响应也有贡献，本发明响应速度指标达到500ms。
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