公开(公告)号：CN101949878A

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN201010272929.1

申请日：2010-09-03

Applicant: 兰州交通大学

Inventor： 王良璧 ,  周文和 ,  王良成 ,  杨建红 ,  常青 ,  令小波 ,  胡万林 ,  任学昌

IPC: G01N27/22 ,  B81C1/00

Abstract: 一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极，下层金属层为下电极，上、下金属层之间为感湿层，其特征在于所述上电极为栅状布置，所述感湿层以聚酰亚胺为感湿膜。制作方法是采用微电子工艺，经过：清洗并且氧化极片、蒸镀下电极、涂聚酰亚胺、亚胺化、溅射上电极、一次光刻、二次光刻、三次光刻及切片、压焊、封装等工艺过程制备而成。本发明选用一种新型的聚酰亚胺为感湿材料，吸湿和脱湿响应速度快；上下电极的结构更有利于快速检测湿敏膜中水浓度的细微变化；另外膜厚度的可控范围对快速响应也有贡献，本发明响应速度指标达到500ms。

公开(公告)号：CN101949878B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN201010272929.1

申请日：2010-09-03

Applicant: 兰州交通大学

Inventor： 王良璧 ,  周文和 ,  王良成 ,  杨建红 ,  常青 ,  令小波 ,  胡万林 ,  任学昌

IPC: G01N27/22 ,  B81C1/00

Abstract: 一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极，下层金属层为下电极，上、下金属层之间为感湿层，其特征在于所述上电极为栅状布置，所述感湿层以聚酰亚胺为感湿膜。制作方法是采用微电子工艺，经过：清洗并且氧化极片、蒸镀下电极、涂聚酰亚胺、亚胺化、溅射上电极、一次光刻、二次光刻、三次光刻及切片、压焊、封装等工艺过程制备而成。本发明选用一种新型的聚酰亚胺为感湿材料，吸湿和脱湿响应速度快；上下电极的结构更有利于快速检测湿敏膜中水浓度的细微变化；另外膜厚度的可控范围对快速响应也有贡献，本发明响应速度指标达到500ms。