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公开(公告)号:CN102800613A
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201210161945.2
申请日:2012-05-23
Applicant: 先进科技新加坡有限公司
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L24/75 , Y10T29/515 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53183
Abstract: 本发明公开了一种用于在半导体封装制造过程中将半导体元件212传送至衬底206a、206b、500a、500b、500c上的装置200,该装置200包含有:平台216,以及多个安装在平台216上的传送模块202a、202b,该多个传送模块202a、202b中的每个均包含有:支撑设备204a、204b,用于支撑衬底206a、206b、500a、500b、500c;和传送设备208a、208b,用于将半导体元件212传送至衬底206a、206b、500a、500b、500c上;其中,该支撑设备204a、204b的高度被相互地拉平,以在该多个传送模块202a、202b之间传输衬底206a、206b、500a、500b、500c。
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公开(公告)号:CN102800613B
公开(公告)日:2015-10-28
申请号:CN201210161945.2
申请日:2012-05-23
Applicant: 先进科技新加坡有限公司
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L24/75 , Y10T29/515 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53183
Abstract: 本发明公开了一种用于在半导体封装制造过程中将半导体元件212传送至衬底206a、206b、500a、500b、500c上的装置200,该装置200包含有:平台216,以及多个安装在平台216上的传送模块202a、202b,该多个传送模块202a、202b中的每个均包含有:支撑设备204a、204b,用于支撑衬底206a、206b、500a、500b、500c;和传送设备208a、208b,用于将半导体元件212传送至衬底206a、206b、500a、500b、500c上;其中,该支撑设备204a、204b的高度被相互地拉平,以在该多个传送模块202a、202b之间传输衬底206a、206b、500a、500b、500c。
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