公开(公告)号：CN103189931A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201180051309.8

申请日：2011-10-27

Applicant: 信越聚合物株式会社 ,  株式会社NSC

Inventor： 谷口敦 ,  吉田一义 ,  藤木弘直 ,  西山荣 ,  竹内一马 ,  羽鸟宏隆

IPC: H01B5/14 ,  G02F1/1333 ,  H01B13/00

CPC classification number: G02F1/133305 ,  G02F2202/022 ,  G02F2202/09

Abstract: 本发明提供一种柔性的透明导电玻璃基板，该透明导电玻璃基板具有与塑料基板同样的柔软性，并且能够实现对于塑料基板所不具备的硬度和透明度且具有能够承受在曲面上使用的密合性。本发明制造具有如下特征的透明导电玻璃基板：在薄玻璃基板上的至少一个面上具有导电性聚合物层，表面电阻为1.8GΩ／□以下，总光线透过率为85%以上，表面铅笔硬度H以上、在R25mm的弯曲下不破损。另外，形成导电性聚合物层的导电性聚合物涂料含有导电性聚合物以及聚阴离子，进一步含有选自含有粘合剂、固化剂、高导电化剂、界面活性剂、催化剂以及接合性提高剂的组中1种或2种以上。

公开(公告)号：CN103189931B

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201180051309.8

申请日：2011-10-27

Applicant: 信越聚合物株式会社 ,  株式会社NSC

Inventor： 谷口敦 ,  吉田一义 ,  藤木弘直 ,  西山荣 ,  竹内一马 ,  羽鸟宏隆

IPC: H01B5/14 ,  G02F1/1333 ,  H01B13/00

CPC classification number: G02F1/133305 ,  G02F2202/022 ,  G02F2202/09

Abstract: 本发明提供一种柔性的透明导电玻璃基板，该透明导电玻璃基板具有与塑料基板同样的柔软性，并且能够实现对于塑料基板所不具备的硬度和透明度且具有能够承受在曲面上使用的密合性。本发明制造具有如下特征的透明导电玻璃基板：在薄玻璃基板上的至少一个面上具有导电性聚合物层，表面电阻为1.8GΩ／□以下，总光线透过率为85%以上，表面铅笔硬度H以上、在R25mm的弯曲下不破损。另外，形成导电性聚合物层的导电性聚合物涂料含有导电性聚合物以及聚阴离子，进一步含有选自含有粘合剂、固化剂、高导电化剂、界面活性剂、催化剂以及接合性提高剂的组中1种或2种以上。

公开(公告)号：CN107710389B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201680038962.3

申请日：2016-05-20

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  水谷龙也 ,  林田哲夫

IPC: H01L21/306

Abstract: 本发明提供使维护变得容易且容易实现装置的紧凑化、且可执行高品质的喷淋蚀刻处理的喷淋蚀刻装置。喷淋蚀刻装置至少包括蚀刻腔室(16)、送液单元(40)以及驱动单元(50)，这些送液单元(40)、蚀刻腔室(16)以及驱动单元(50)在与玻璃基板(100)的搬运方向正交的宽度方向上排列。蚀刻腔室(16)至少包括构成为对玻璃基板(100)喷淋蚀刻液的可移动的上侧喷淋配管单元(162)以及下侧喷淋配管单元(164)。

公开(公告)号：CN107710389A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680038962.3

申请日：2016-05-20

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  水谷龙也 ,  林田哲夫

IPC: H01L21/306

CPC classification number: H01L21/306

Abstract: 本发明提供使维护变得容易且容易实现装置的紧凑化、且可执行高品质的喷淋蚀刻处理的喷淋蚀刻装置。喷淋蚀刻装置至少包括蚀刻腔室(16)、送液单元(40)以及驱动单元(50)，这些送液单元(40)、蚀刻腔室(16)以及驱动单元(50)在与玻璃基板(100)的搬运方向正交的宽度方向上排列。蚀刻腔室(16)至少包括构成为对玻璃基板(100)喷淋蚀刻液的可移动的上侧喷淋配管单元(162)以及下侧喷淋配管单元(164)。

公开(公告)号：CN113412535B

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN201980075803.4

申请日：2019-09-19

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  天之濑聪 ,  入江央

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/01 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明提供一种能够在稳定的状态下输送蚀刻处理后等湿润状态的薄型基板的悬浮输送装置。悬浮输送单元(60)具备：水悬浮输送部(62)、气刀(64)、第一空气悬浮输送部(66)、第二空气悬浮输送部(68)、辅助辊(70)以及输送带(72)，在使玻璃基板(24)悬浮的状态下输送。水悬浮输送部(62)具有构成为在表面上形成水膜的水膜形成板(621)。气刀(64)构成为向被处理基板喷射空气。第一空气悬浮输送部(66)具有形成有向玻璃基板(24)从下方喷射空气的喷射孔(82)的悬浮输送板(67)。第二空气悬浮输送部(68)具有多孔板(681)。辅助辊(70)和输送带(72)沿输送方向输送玻璃基板(24)。

公开(公告)号：CN113412535A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN201980075803.4

申请日：2019-09-19

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  天之濑聪 ,  入江央

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/01 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明提供一种能够在稳定的状态下输送蚀刻处理后等湿润状态的薄型基板的悬浮输送装置。悬浮搬送单元(60)具备：水悬浮搬送部(62)、气刀(64)、第一空气悬浮搬送部(66)、第二空气悬浮搬送部(68)、辅助辊(70)以及搬送带(72)，在使玻璃基板(24)悬浮的状态下搬送。水悬浮输送部(62)具有构成为在表面上形成水膜的水膜形成板(621)。气刀(64)构成为向被处理基板喷射空气。第一空气悬浮输送部(66)具有形成有向玻璃基板(24)从下方喷射空气的喷射孔(82)的悬浮输送板(67)。第二空气悬浮输送部(68)具有多孔板(681)。辅助辊(70)和输送带(72)沿输送方向输送玻璃基板(24)。