公开(公告)号：CN107710389B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201680038962.3

申请日：2016-05-20

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  水谷龙也 ,  林田哲夫

IPC: H01L21/306

Abstract: 本发明提供使维护变得容易且容易实现装置的紧凑化、且可执行高品质的喷淋蚀刻处理的喷淋蚀刻装置。喷淋蚀刻装置至少包括蚀刻腔室(16)、送液单元(40)以及驱动单元(50)，这些送液单元(40)、蚀刻腔室(16)以及驱动单元(50)在与玻璃基板(100)的搬运方向正交的宽度方向上排列。蚀刻腔室(16)至少包括构成为对玻璃基板(100)喷淋蚀刻液的可移动的上侧喷淋配管单元(162)以及下侧喷淋配管单元(164)。

公开(公告)号：CN107710389A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680038962.3

申请日：2016-05-20

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  水谷龙也 ,  林田哲夫

IPC: H01L21/306

CPC classification number: H01L21/306

Abstract: 本发明提供使维护变得容易且容易实现装置的紧凑化、且可执行高品质的喷淋蚀刻处理的喷淋蚀刻装置。喷淋蚀刻装置至少包括蚀刻腔室(16)、送液单元(40)以及驱动单元(50)，这些送液单元(40)、蚀刻腔室(16)以及驱动单元(50)在与玻璃基板(100)的搬运方向正交的宽度方向上排列。蚀刻腔室(16)至少包括构成为对玻璃基板(100)喷淋蚀刻液的可移动的上侧喷淋配管单元(162)以及下侧喷淋配管单元(164)。