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公开(公告)号：CN1714053A
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN200380103744.6
申请日：2003-11-28
申请人： 信越石英株式会社
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03C2201/02 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/26
摘要： 本发明的第一目的在于，提供一种杂质较少且具有与天然石英玻璃同等以上的高温粘度特性，并且即使在高温气氛下也难以变形的合成石英玻璃的制造方法，特别是，不起泡且致密的高耐热性合成石英玻璃的制造方法。本发明的第二目的在于，提供容易由本发明的制造方法制得的高耐热性合成石英玻璃体，特别是不起泡、细密、具有高红外线吸收率及放出率，且具有极高的碱金属扩散防止效果的透明及黑色石英玻璃体。本发明是制造在245nm的吸收系数为0.05cm－1以上的高耐热性石英玻璃体的方法，其中对二氧化硅多孔体进行还原处理后进行烧成处理，获得致密玻璃体。
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公开(公告)号：CN114364641A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202080061487.8
申请日：2020-08-17
申请人： 信越石英株式会社 , 株式会社山形信越石英
IPC分类号： C03B20/00 , C03B23/203 , C03C17/04 , B32B17/06 , B32B33/00
摘要： 本发明是提供一种反射构件，及适合作为该反射构件的玻璃层合构件的制造方法，该反射构件在使用时无粉尘发生，破坏强度大，且一边维持高反射率，一边即使在制作时及使用时的高温环境也可防止破损。具有在不透明二氧化硅质烧结粉体层的上表面及下表面形成透明石英玻璃构件而成的层合构造的反射构件，所述不透明二氧化硅质烧结粉体层的厚度为0.1mm以上，膜厚的分布为±0.05mm以下，在所述层合构造的上表面及下表面的透明石英玻璃构件，以与层合构造平行的方向负上荷重时，破坏的荷重每1cm2为5N以上，所述层合构造在不透明二氧化硅质烧结粉体层与透明石英玻璃构件的边界，成为两者中间的不透明度的半透明度部分的宽度为0.01mm以下。
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公开(公告)号：CN113145578A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110084725.3
申请日：2021-01-21
摘要： 本发明涉及反应管的清洗方法、半导体器件的制造方法及衬底处理装置。用含氟化合物的药液清洗也能抑制氟化合物残留在反应管内周面。该技术具有：将具有对反应管进行退火第1退火工序、用含第1浓度的氟化合物的液体对第1退火工序后的反应管的内周面进行清洗的第1清洗工序及用纯水冲洗第1清洗工序中使用的氟化合物进行的第1漂洗工序且将第1漂洗工序进行1次以上的循环作为1个循环并将其进行1次或多次；对反应管进行退火的第2退火工序；用含比第1浓度高的第2浓度的氟化合物的液体对第2退火工序后的反应管的内周面进行清洗的第2清洗工序；用纯水冲洗第2清洗工序中使用的氟化合物的第2漂洗工序，第2漂洗工序进行2次以上。
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公开(公告)号：CN114430730A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202080066964.X
申请日：2020-09-18
申请人： 信越石英株式会社 , 株式会社山形信越石英
IPC分类号： C03B23/203
摘要： 本发明提供维持高反射率并且在制作时及使用时的高温环境下不破损，在使用时不产生尘埃，可进行基于药液的洗净的热反射构件；及适于作为该热反射构件的带有热反射层的玻璃构件的制造方法。是具有在二氧化硅质烧结粉体层的上表面及下表面形成石英玻璃层而成的层叠结构的热反射构件，在所述热反射构件的端部的所述二氧化硅质烧结粉体层部分，具有至少比该二氧化硅质烧结粉体层的1/2的厚度厚且不浸透气体或液体的非透射层、和在该非透射层与该二氧化硅质烧结粉体层之间，从非透射层朝向烧结体粉体层密度发生变化的缓冲层。
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公开(公告)号：CN100509669C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200380103744.6
申请日：2003-11-28
申请人： 信越石英株式会社
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03C2201/02 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/26
摘要： 本发明的第一目的在于，提供一种杂质较少且具有与天然石英玻璃同等以上的高温粘度特性，并且即使在高温气氛下也难以变形的合成石英玻璃的制造方法，特别是，不起泡且致密的高耐热性合成石英玻璃的制造方法。本发明的第二目的在于，提供容易由本发明的制造方法制得的高耐热性合成石英玻璃体，特别是不起泡、细密、具有高红外线吸收率及放出率，且具有极高的碱金属扩散防止效果的透明及黑色石英玻璃体。本发明是制造在245nm的吸收系数为0.05cm-1以上的高耐热性石英玻璃体的方法，其中对二氧化硅多孔体进行还原处理后进行烧成处理，获得致密玻璃体。
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公开(公告)号：CN117529457A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202280042598.3
申请日：2022-06-23
申请人： 信越石英株式会社
IPC分类号： C03C15/00
摘要： 本发明的目的在于提供石英玻璃夹具的制造方法及石英玻璃夹具，在不存在微裂纹的通过药液处理的凹凸形成中，即使为大型的石英玻璃夹具，斑纹在表面的凹凸加工面也不显眼，具备优良的均匀性的凹凸处理面。一种石英玻璃夹具的制造方法，是通过药液处理在表面形成凹凸而成的石英玻璃夹具的制造方法，包含：附着物去除工序，去除平滑的石英玻璃表面的附着物；及加工面形成药液处理工序，通过由所述药液处理的凹凸形成，在去除所述附着物后的所述石英玻璃表面，形成凹凸加工面，测定10个部位的所述凹凸加工面的表面粗糙度Ra时的标准偏差为1.00μm以下。
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公开(公告)号：CN113145578B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202110084725.3
申请日：2021-01-21
摘要： 本发明涉及反应管的清洗方法、半导体器件的制造方法及衬底处理装置。用含氟化合物的药液清洗也能抑制氟化合物残留在反应管内周面。该技术具有：将具有对反应管进行退火第1退火工序、用含第1浓度的氟化合物的液体对第1退火工序后的反应管的内周面进行清洗的第1清洗工序及用纯水冲洗第1清洗工序中使用的氟化合物进行的第1漂洗工序且将第1漂洗工序进行1次以上的循环作为1个循环并将其进行1次或多次；对反应管进行退火的第2退火工序；用含比第1浓度高的第2浓度的氟化合物的液体对第2退火工序后的反应管的内周面进行清洗的第2清洗工序；用纯水冲洗第2清洗工序中使用的氟化合物的第2漂洗工序，第2漂洗工序进行2次以上。
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