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公开(公告)号:CN104310785A
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:CN201410545586.X
申请日:2014-10-15
Applicant: 芜湖新利德玻璃制品有限公司
CPC classification number: C03C3/118 , C03C2201/11 , C03C2201/14 , C03C2201/24
Abstract: 本发明公开了一种高硼硅玻璃及其制备方法,所述制备方法包括:在1570-1650℃下,将二氧化硅、氧化硼、氧化铝、硝酸钠、氯化钠、氟硅酸铵和碎玻璃熔融混合并保温,然后冷却以制得高硼硅玻璃;其中,相对于100重量份的二氧化硅,所述氧化硼的含量为5-10重量份、所述氧化铝的含量为2-4.5重量份、所述硝酸钠的含量为0.5-1.5重量份、所述氯化钠的含量为1.3-3.5重量份、所述氟硅酸铵的含量为0.1-0.5重量份和所述碎玻璃的含量为25-30重量份。本发明提供的方法制备的高硼硅玻璃具有更优异的耐火性能和表面压应力。
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公开(公告)号:CN101426744A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200780013293.5
申请日:2007-09-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 , 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03C4/20 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/3411 , C03C2201/3435 , C03C2203/10 , C03C2203/54
Abstract: 本发明始于用于半导体制造的已知石英玻璃元件,该元件至少在近表面区具有第一掺杂剂和第二氧化掺杂剂的共掺杂,所述第二掺杂剂含一种或多种浓度各为0.1~3wt%的稀土金属(以SiO2和掺杂剂的总质量为基准计算)。由此开始,为了提供用于在腐蚀作用环境中半导体制造的以高纯度和高耐干腐蚀著称并避免了由用氧化铝共掺杂所造成的已知缺点的石英玻璃元件,按照本发明建议:第一掺杂剂应是氮以及石英玻璃内亚稳定羟基的平均含量应小于30wtppm。
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公开(公告)号:CN100363765C
公开(公告)日:2008-01-23
申请号:CN200480009262.9
申请日:2004-02-10
Applicant: 3M创新有限公司
Inventor: 威廉·V·道尔 , 尼马尔·K·维斯瓦纳坦 , 多拉·M·保卢奇 , 迈克尔·D·巴雷拉
CPC classification number: G02B6/02114 , C03C3/06 , C03C13/045 , C03C13/047 , C03C25/607 , C03C25/6226 , C03C2201/21 , C03C2201/24 , C03C2201/26 , C03C2201/31 , C03C2201/60
Abstract: 本发明涉及增加光纤的光敏性。本发明的一个方面包含一种方法,用于将氢或氘从具有低的总氢含量的气体混合物迅速扩散到光纤中以形成光纤的折射率改变。所得到的光敏纤维可以用于制造包括布拉格光栅和基于布拉格光栅的装置的光学装置。
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公开(公告)号:CN101061075A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200680001203.6
申请日:2006-03-30
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/09 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03C15/00 , C03C19/00 , C03C23/0025 , C03C23/006 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/32 , C03C2201/50 , C03C2203/54 , C30B25/12 , C30B31/14 , C30B35/00 , Y02P40/57
Abstract: 用于蚀刻作用环境中的晶片夹具用理想石英玻璃的特征在于高纯度和高抗干蚀刻性。为给出一种完全符合这些要求的石英玻璃,本发明提出该石英玻璃应至少在其近表面区域掺杂氮,且亚稳态羟基的平均含量小于30重量ppm,以及其假定温度低于1250℃和在1200℃的温度下粘度为至少1013dPas。一种制造这种石英玻璃的经济性方法包括以下步骤:熔融SiO2原料以获得石英玻璃坯,其中使所述SiO2原料或石英玻璃坯经受脱水处理,在含氨气氛中将所述SiO2原料或石英玻璃坯加热至1050℃至1850℃范围的氮化温度,进行温度处理藉此将石英玻璃坯的石英玻璃设定到1250℃或更低的假定温度,对石英玻璃坯进行表面处理,形成石英玻璃夹具。
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公开(公告)号:CN107500527A
公开(公告)日:2017-12-22
申请号:CN201710919615.8
申请日:2017-09-30
Applicant: 徐传龙
IPC: C03C3/06 , C03B37/012
CPC classification number: C03C3/06 , C03B37/01274 , C03C2201/12 , C03C2201/24 , C03C2201/36 , C03C2201/50 , C03C2201/54
Abstract: 一种连熔炉拉制镱氟激光石英棒,以高纯石英砂为基本重量份原料,配以占高纯石英砂重量1.6%~2%的微量元素添加剂,采用SiO2含量大于99.9999%,杂质含量低于1ppm,45~150目的高纯石英砂,其中,所述微量元素添加剂包括氧化镱Yb2O3、硝酸锂LiNO3、硝酸镁Mg(NO3)2.6H2O、硝酸铝Al(NO3)3.9H2O、氟化铵NH4F。本发明采用棒体无气泡无气线制备工艺拉制成型的Yb.F激光石英棒,韧性好,耐压力强,软化点高,不析晶,具有较高的斜率效率和激光光转换效率高、掺杂弄浓度高、吸收带宽等优点。
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公开(公告)号:CN104995145A
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201480009659.1
申请日:2014-02-19
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
Inventor: B.屈恩
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B32/00 , C03B32/02 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/24 , C03C4/04 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2203/54 , C03C2204/00 , G02B1/00 , G02B1/02 , Y02P40/57
Abstract: 本发明基于一种由合成石英玻璃制成的光学部件,所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中,所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x1016个分子/cm3至1.0x1018个分子/cm3的范围内的氢含量并且具有少于2x1017个分子/cm3的SiH基含量和具有在0.1wt.ppm和100wt.ppm之间范围内的羟基含量,其中玻璃结构具有小于1070℃的假定温度。为了基于在633nm的测量波长的情况下压实行为的测量在使用应用波长的UV激光辐射的情况下能够实现关于压实行为的可靠预测,提出光学部件的一种构型,其中,所述部件对利用波长为193nm、具有5x109个具有脉冲宽度为125ns并且能量密度分别为500μJ/cm2以及脉冲重复频率为2000Hz的脉冲的辐射的照射以激光诱导的折射率变化做出反应,所述折射率变化的量值在借助193nm的应用波长进行测量的情况下得出第一测量值M193nm并且在借助633nm的测量波长进行测量的情况下得出第二测量值M633nm,其中适用:M193nm/M633nm
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公开(公告)号:CN101426744B
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN200780013293.5
申请日:2007-09-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 , 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03C4/20 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/3411 , C03C2201/3435 , C03C2203/10 , C03C2203/54
Abstract: 本发明始于用于半导体制造的已知石英玻璃元件,该元件至少在近表面区具有第一掺杂剂和第二氧化掺杂剂的共掺杂,所述第二掺杂剂含一种或多种浓度各为0.1~3wt%的稀土金属(以SiO2和掺杂剂的总质量为基准计算)。由此开始,为了提供用于在腐蚀作用环境中半导体制造的以高纯度和高耐干腐蚀著称并避免了由用氧化铝共掺杂所造成的已知缺点的石英玻璃元件,按照本发明建议:第一掺杂剂应是氮以及石英玻璃内亚稳定羟基的平均含量应小于30wtppm。
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公开(公告)号:CN1802577A
公开(公告)日:2006-07-12
申请号:CN200480009262.9
申请日:2004-02-10
Applicant: 3M创新有限公司
Inventor: 威廉·V·道尔 , 尼马尔·K·维斯瓦纳坦 , 多拉·M·保卢奇 , 迈克尔·D·巴雷拉
CPC classification number: G02B6/02114 , C03C3/06 , C03C13/045 , C03C13/047 , C03C25/607 , C03C25/6226 , C03C2201/21 , C03C2201/24 , C03C2201/26 , C03C2201/31 , C03C2201/60
Abstract: 本发明涉及增加光纤的光敏性。本发明的一个方面包含一种方法,用于将氢或氘从具有低的总氢含量的气体混合物迅速扩散到光纤中以形成光纤的折射率改变。所得到的光敏纤维可以用于制造包括布拉格光栅和基于布拉格光栅的装置的光学装置。
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公开(公告)号:CN1714053A
公开(公告)日:2005-12-28
申请号:CN200380103744.6
申请日:2003-11-28
Applicant: 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03C2201/02 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/26
Abstract: 本发明的第一目的在于,提供一种杂质较少且具有与天然石英玻璃同等以上的高温粘度特性,并且即使在高温气氛下也难以变形的合成石英玻璃的制造方法,特别是,不起泡且致密的高耐热性合成石英玻璃的制造方法。本发明的第二目的在于,提供容易由本发明的制造方法制得的高耐热性合成石英玻璃体,特别是不起泡、细密、具有高红外线吸收率及放出率,且具有极高的碱金属扩散防止效果的透明及黑色石英玻璃体。本发明是制造在245nm的吸收系数为0.05cm-1以上的高耐热性石英玻璃体的方法,其中对二氧化硅多孔体进行还原处理后进行烧成处理,获得致密玻璃体。
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公开(公告)号:CN106573823A
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201580038094.4
申请日:2015-05-13
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03C3/045 , C03C3/06 , C03C3/091 , C03C3/111 , C03C21/007 , C03C23/007 , C03C2201/02 , C03C2201/24 , Y10T428/315
Abstract: 本文公开了不含碱金属的玻璃,这些玻璃具有(重量%):50≤SiO2≤80%、2≤Al2O3≤17%、8≤B2O3≤36%和大于或等于2%且小于或等于25%的CaO、MgO、BaO、SrO或ZnO中的至少一种。这些不含碱金属的玻璃具有包含大于0.2重量%的N的表面层。这些不含碱金属的玻璃是通过氮化处理来得到的,其展现出增强的强度、耐划痕性和化学稳定性。
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