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公开(公告)号:CN1274034C
公开(公告)日:2006-09-06
申请号:CN02131970.7
申请日:2002-08-30
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: H01L33/00
CPC classification number: H01L33/30 , H01L24/32 , H01L33/22 , H01L2224/32245 , H01L2224/32257 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/73265 , H01L2224/92247 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 在GaP系半导体衬底70中,以p型层侧的主表面作为第一主表面10,以其相反侧的主表面作为第二主表面12。在第二主表面,借由研磨后用王水蚀刻来集中形成向半导体衬底70内侧突出的镜面状凹曲面51,以提高光全反射;另一方面,在半导体衬底70上除第一接触层62和第二主表面11的形成区域以外的区域中,借由实施异向性蚀刻来集中形成向外侧突出的凸曲面53,以降低光全反射。形成于第二主表面11上的第二接触层64(第二电极63)是用Au、Si及Ni所组成的合金形成,而形成于第一主表面10上的第一接触层62是用Au和Be或Zn的合金形成。借此,可提供出就算在间接跃迁型的发光形态也能充分的提高亮度的GaP系半导体发光组件。
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公开(公告)号:CN1407636A
公开(公告)日:2003-04-02
申请号:CN02131970.7
申请日:2002-08-30
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: H01L33/00
CPC classification number: H01L33/30 , H01L24/32 , H01L33/22 , H01L2224/32245 , H01L2224/32257 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/73265 , H01L2224/92247 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 在GaP系半导体基体70中,以p型层侧的主面作为第一主面10,以其相反侧的主面作为第二主面12。在第二主面,藉由研磨后用王水蚀刻,以形成可提高光全反射之向半导体基体70内侧凸之镜面状凹曲面51的集合;另一方面,在半导体基体70之第一接触层62形成区域及第二主面11以外,藉由实施异向性蚀刻,以形成为降低光全反射之向外侧凸之凸曲面53的集合。又,将形成于第二主面11上之第二接触层64(第二电极63),用Au、Si及Ni所组成的合金所形成,将形成于第一主面10上之第一接触层62,用Au和Be或Zn之合金所形成。藉此,可提供出就算在间接跃迁型的发光形态也能充分的提高亮度之GaP系半导体发光组件。
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