公开(公告)号：CN117986229A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202311428632.3

申请日：2023-10-31

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 大桥正树 ,  畠山润 ,  山平达也 ,  须田祐贵

IPC: C07D333/76 ,  C07D335/16 ,  C07D279/20 ,  C07D279/22 ,  C07D339/08 ,  C07D409/12 ,  C07C69/96 ,  C07C69/753 ,  C07C69/76 ,  C07C69/63 ,  C07C271/28 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及锍盐、抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明提供为正型、负型皆是高感度且LWR、CDU有所改善的抗蚀剂材料、及使用此抗蚀剂材料的图案形成方法。下式(1)表示的锍盐、及包含该锍盐的抗蚀剂材料。#imgabs0#

公开(公告)号：CN118480025A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410167953.0

申请日：2024-02-06

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 山平达也 ,  畠山润 ,  藤原敬之 ,  须田祐贵

IPC: C07D333/76 ,  C07D327/08 ,  C07D335/16 ,  C07D279/20 ,  C07D339/08 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明涉及锍盐、抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题提供无论正型或负型皆为高感度，且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料，以及提供使用其的图案形成方法。该课题的解决手段是一种锍盐，以下式(1)表示，以及提供含有该锍盐的抗蚀剂材料。#imgabs0#