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公开(公告)号:CN119391160A
公开(公告)日:2025-02-07
申请号:CN202411660266.9
申请日:2020-11-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种光固化性氟聚醚系弹性体组合物及其粘接方法。所述组合物包含100质量份的(A)直链多氟化合物、(B)含氟有机氢聚硅氧烷、(C)光活性型硅氢化反应催化剂和0.1~20质量份的(D)沸石。所述(A)成分在1分子中具有2个以上的烯基,且在主链中具有全氟聚醚结构,所述(B)成分在1分子中具有2个以上的与硅原子键合了的氢原子,且相对于(A)成分中的烯基1摩尔,(B)成分中的与硅原子键合了的氢原子为0.5~3.0摩尔的量,所述(C)成分相对于(A)成分的质量,以金属原子换算为0.1~500ppm,和所述(D)沸石其平均一次粒径为30μm以下。
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公开(公告)号:CN114868232A
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202080083572.4
申请日:2020-12-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/304 , C09J11/04 , C09J11/06 , C08L83/05 , C08L83/07 , C09J183/04 , C09J183/05 , C09J183/07
Abstract: 本发明提供了包含含有无官能性有机聚硅氧烷的热固化性有机硅树脂组合物的、用于将晶片与支撑体临时粘接的晶片加工用临时粘接剂、晶片层叠体及薄型晶片的制造方法。
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公开(公告)号:CN114667317A
公开(公告)日:2022-06-24
申请号:CN202080078151.2
申请日:2020-11-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种兼具良好的保存稳定性和速固化性,在低温条件下且短时间内也能够进行粘接,并且于固化时在树脂中不产生气泡的光固化性氟聚醚系弹性体组合物及其粘接方法。所述光固化性氟聚醚系弹性体组合物包含100质量份的(A)直链多氟化合物、(B)含氟有机氢聚硅氧烷、(C)光活性型硅氢化反应催化剂和0.1~20质量份的(D)沸石。所述(A)直链多氟化合物在1分子中具有2个以上的烯基,且在主链中具有全氟聚醚结构,所述(B)含氟有机氢聚硅氧烷在1分子中具有2个以上的与硅原子键合了的氢原子,且相对于(A)成分中的烯基1摩尔,(B)成分中的与硅原子键合了的氢原子为0.5~3.0摩尔的量,所述(C)光活性型硅氢化反应催化剂相对于(A)成分的质量,以金属原子换算为0.1~500ppm,和所述(D)沸石其平均一次粒径为30μm以下。
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公开(公告)号:CN104109369B
公开(公告)日:2017-12-29
申请号:CN201410154768.4
申请日:2014-04-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种兼备良好的保存性和固化性的光固化性氟聚醚系凝胶组合物。一种光固化性氟聚醚系凝胶组合物,其特征在于,含有:(A)1分子中具有2个以上的链烯基、且主链中具有全氟聚醚结构的链状多氟化合物、(B)1分子中具有1个链烯基、且主链中具有全氟聚醚结构的多氟单链烯基化合物、(C)1分子中具有2个以上直接键合于硅原子的氢原子的含氟有机氢化硅氧烷、及(D)光活化型氢化硅烷化反应催化剂。
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公开(公告)号:CN115485814A
公开(公告)日:2022-12-16
申请号:CN202180031672.7
申请日:2021-04-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/304 , C09J7/30 , C09J5/00 , C09J11/08 , C09J183/04 , C09J183/05 , C09J183/06
Abstract: 本发明提供包含含有无官能性有机聚硅氧烷的光固化性有机硅树脂组合物的、用于将晶片临时粘接于支撑体的晶片加工用临时粘接剂、晶片加工体和使用晶片加工用临时粘接剂的薄型晶片的制造方法。
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公开(公告)号:CN114521211A
公开(公告)日:2022-05-20
申请号:CN202080067798.5
申请日:2020-09-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C09J7/30 , C09J153/02 , C09J183/07 , C09J11/08 , H01L21/683 , H01L21/304
Abstract: 本发明为一种晶圆加工用临时粘合材料,其用于将表面具有电路面且应对背面进行加工的晶圆临时粘合在支撑体上,其特征在于,具备具有第一临时粘合层和第二临时粘合层的至少2层结构的复合临时粘合材料层,第一临时粘合层能够以可剥离的方式粘合在所述晶圆的表面且由热塑性树脂层(A)构成,第二临时粘合层层叠于该第一临时粘合层上且由光固化硅氧烷聚合物层(B)构成。由此提供一种改善加热接合时的晶圆翘曲,具有良好的剥离性与清洗除去性,能够在段差大的基板上以均匀的膜厚形成,对TSV形成工序等的工序适应性高,并且对热工艺的耐受性优异,能够提高薄型晶圆的生产率的晶圆加工体、晶圆加工用临时粘合材料及使用其的薄型晶圆的制造方法。
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公开(公告)号:CN107474514A
公开(公告)日:2017-12-15
申请号:CN201710431631.2
申请日:2017-06-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor: 武藤光夫
IPC: C08L71/00
CPC classification number: C08L71/00 , C08L2201/10 , C08L2205/025 , C08L2205/05
Abstract: 本发明涉及光固化性氟聚醚系橡胶组合物及其固化物。本发明提供在使用光活性型氢化硅烷化反应催化剂的光固化性氟聚醚系橡胶组合物中使密闭固化时的橡胶的发泡减轻的光固化性氟聚醚系橡胶组合物及其固化物。光固化性氟聚醚系橡胶组合物,其含有:(A)在1分子中具有2个以上的烯基并且在主链中具有直链状全氟聚醚结构的直链状多氟化合物:100质量份;(B)在1分子中具有2个以上与硅原子直接结合的氢原子(Si-H基)并且氟含量为40质量%以上的含氟有机氢聚硅氧烷:其量使得相对于(A)成分中的烯基1摩尔,(B)成分中的Si-H基成为0.5~3摩尔;和(C)光活性型氢化硅烷化反应催化剂:相对于(A)成分的质量,以金属原子换算计,为0.1~500ppm。
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公开(公告)号:CN104109369A
公开(公告)日:2014-10-22
申请号:CN201410154768.4
申请日:2014-04-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种兼备良好的保存性和固化性的光固化性氟聚醚系凝胶组合物。一种光固化性氟聚醚系凝胶组合物,其特征在于,含有:(A)1分子中具有2个以上的链烯基、且主链中具有全氟聚醚结构的链状多氟化合物、(B)1分子中具有1个链烯基、且主链中具有全氟聚醚结构的多氟单链烯基化合物、(C)1分子中具有2个以上直接键合于硅原子的氢原子的含氟有机氢化硅氧烷、及(D)光活化型氢化硅烷化反应催化剂。
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公开(公告)号:CN117840009A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202410029495.4
申请日:2019-11-15
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供一种光固化性氟聚醚类弹性体组合物的涂膜形成方法。所述涂膜形成方法不受来自基材(特别是树脂基材)的固化阻碍,在基材的界面或即使在暗处、深处也能够得到均匀的组合物的固化物。所述涂膜形成方法为光固化性氟聚醚类弹性体组合物的涂膜形成方法,其包括将已被光照射的光固化性氟聚醚类弹性体组合物涂布在基材表面上的工序。
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公开(公告)号:CN115699251A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202180041297.4
申请日:2021-04-26
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/02 , C09J179/08 , C09J183/04 , C09J201/00
Abstract: 本发明为一种暂时粘合方法,其为经由暂时粘合层将具有包含电路的第一主面和与所述第一主面为相反侧的应加工的第二主面的晶圆暂时粘合在支撑体上的方法,其特征在于,经由暂时粘合层,进行所述晶圆的所述第一主面与所述支撑体的暂时粘合,所述暂时粘合层包含具有多个柱状结构的干式粘合性纤维结构体。由此,可提供一种能够将晶圆与支撑体以充分的强度暂时粘合且能够容易地将晶圆从支撑体上剥离,并且能够反复进行暂时粘合及剥离的暂时粘合方法。
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