公开(公告)号：CN1493716A

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN03158592.2

申请日：2003-09-19

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 平原和弘 ,  津寺贵信 ,  岩井大祐

IPC: C30B25/14 ,  C30B25/16 ,  C23C16/52 ,  C23C16/455 ,  G01N21/71

CPC classification number: G01N21/714

Abstract: 一种有机金属化合物的蒸发和进料系统，包括连接载气源和装有有机金属化合物MO的容器并且其上具有载气质量流量控制器的载气进料流道；连接容器和在线监测器的用于输送MO气体的MO气体流道；连接在线监测器和ICP摄谱仪样品入口的样品气流道；连接充有标定用标准气的气体钢瓶和样品气流道并且具有标准气质量流量控制器的标准气流道；以及与标准气流道相连并且其上具有稀释气质量流量控制器的稀释气流道，该流道用于输送稀释气从而调节标准气的浓度。

公开(公告)号：CN100335889C

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN03158592.2

申请日：2003-09-19

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 平原和弘 ,  津寺贵信 ,  岩井大祐

IPC: G01N21/73 ,  C30B25/14 ,  C30B25/16 ,  C23C16/52 ,  C23C16/455

CPC classification number: G01N21/714

Abstract: 一种有机金属化合物的蒸发和进料系统，包括连接载气源和装有有机金属化合物MO的容器并且其上具有载气质量流量控制器的载气进料流道；连接容器和在线监测器的用于输送MO气体的MO气体流道；连接在线监测器和ICP摄谱仪样品入口的样品气流道；连接充有标定用标准气的气体钢瓶和样品气流道并且具有标准气质量流量控制器的标准气流道；以及与标准气流道相连并且其上具有稀释气质量流量控制器的稀释气流道，该流道用于输送稀释气从而调节标准气的浓度。

公开(公告)号：CN100348969C

公开(公告)日：2007-11-14

申请号：CN03158593.0

申请日：2003-09-19

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 平原和弘 ,  津寺贵信 ,  岩井大祐

IPC: G01N21/73 ,  C30B25/14 ,  C30B25/16 ,  C23C16/52 ,  C23C16/455

CPC classification number: C30B25/14

Abstract: 一种液体有机金属化合物的蒸发和进料系统，包括装有液体有机金属化合物MO的容器；用于蒸发MO的蒸发器；连接所述容器和蒸发器并且具有液体MO质量流量控制器的液体流道；载气源；连接所述载气源与蒸发器并且具有载气质量流量控制器的载气流道；连接所述蒸发器和ICP发射摄谱仪并且具有在线监测器的样品气流道；标定用标准气钢瓶；以及连接钢瓶和在所述在线监测器下游的样品气流道并且具有标准气质量流量控制器的标准气流道。

公开(公告)号：CN1493717A

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN03158593.0

申请日：2003-09-19

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 平原和弘 ,  津寺贵信 ,  岩井大祐

IPC: C30B25/14 ,  C30B25/16 ,  C23C16/52 ,  C23C16/455 ,  G01N21/71

CPC classification number: C30B25/14

Abstract: 一种液体有机金属化合物的蒸发和进料系统，包括装有液体有机金属化合物MO的容器；用于蒸发MO的蒸发器；连接所述容器和蒸发器并且具有液体MO质量流量控制器的液体流道；载气源；连接所述载气源与蒸发器并且具有载气质量流量控制器的载气流道；连接所述蒸发器和ICP发射摄谱仪并且具有在线监测器的样品气流道；标定用标准气钢瓶；以及连接钢瓶和在所述在线监测器下游的样品气流道并且具有标准气质量流量控制器的标准气流道。