公开(公告)号：CN115874157A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202211706317.8

申请日：2018-11-16

Applicant: 佳能特机株式会社

Inventor： 生长秀隆 ,  熊木智洋 ,  阿部大和 ,  渡部新

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/34 ,  C23C14/56

Abstract: 本发明提供一种能够抑制基板的破损发生地保持基板的基板支架。基板支架(30)使基板(2)的被处理区域(21a)露出地保持基板(2)，其特征在于，具备：夹持部(310、320)，所述夹持部(310、320)与基板(2)的角部(24)不接触地夹持基板(2)的两面(21、22)；及触抵部(30)，所述触抵部(30)与基板(2)的角部不接触地触抵于基板(2)的端面(23)。

公开(公告)号：CN109957765A

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：CN201811362770.5

申请日：2018-11-16

Applicant: 佳能特机株式会社

Inventor： 生长秀隆 ,  熊木智洋 ,  阿部大和 ,  渡部新

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/50 ,  C23C14/02 ,  C23C14/04

Abstract: 本发明提供一种能够抑制基板的破损发生地保持基板的基板支架。基板支架(30)使基板(2)的被处理区域(21a)露出地保持基板(2)，其特征在于，具备：夹持部(310、320)，所述夹持部(310、320)与基板(2)的角部(24)不接触地夹持基板(2)的两面(21、22)；及触抵部(30)，所述触抵部(30)与基板(2)的角部不接触地触抵于基板(2)的端面(23)。

公开(公告)号：CN109957765B

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN201811362770.5

申请日：2018-11-16

Applicant: 佳能特机株式会社

Inventor： 生长秀隆 ,  熊木智洋 ,  阿部大和 ,  渡部新

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/50 ,  C23C14/02 ,  C23C14/04

Abstract: 本发明提供一种能够抑制基板的破损发生地保持基板的基板支架。基板支架(30)使基板(2)的被处理区域(21a)露出地保持基板(2)，其特征在于，具备：夹持部(310、320)，所述夹持部(310、320)与基板(2)的角部(24)不接触地夹持基板(2)的两面(21、22)；及触抵部(30)，所述触抵部(30)与基板(2)的角部不接触地触抵于基板(2)的端面(23)。