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公开(公告)号：CN111519158B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202010361030.0
申请日：2018-05-21
申请人： 佳能特机株式会社
摘要： 本发明提供基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法，抑制将基板载置于载置体时的每个基板的偏差。基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件，其特征在于，所述多个支承件的一部分的支承件间的距离与其它的支承件间的距离不同。或者，基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；使所述多个支承件中的至少一部分与其它的支承件独立地移动的支承件移动部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件。
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公开(公告)号：CN108517505A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810485128.X
申请日：2018-05-21
申请人： 佳能特机株式会社
摘要： 本发明提供基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法，抑制将基板载置于载置体时的每个基板的偏差。基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件，其特征在于，所述多个支承件的一部分的支承件间的距离与其它的支承件间的距离不同。或者，基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；使所述多个支承件中的至少一部分与其它的支承件独立地移动的支承件移动部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件。
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公开(公告)号：CN108330448B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201810051045.X
申请日：2018-01-19
摘要： 一种减压容器包括外壁，所述外壁包括第一构件。第一构件包括第一基部和第一肋部。第一基部包括具有四边形形状的第一表面。第一肋部设置在所述第一表面上。第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。本发明还涉及一种处理装置、一种处理系统、以及一种制造平板显示器的方法。
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公开(公告)号：CN111485216A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010369462.6
申请日：2018-05-21
申请人： 佳能特机株式会社
摘要： 本发明提供基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法，抑制将基板载置于载置体时的每个基板的偏差。基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件，其特征在于，所述多个支承件的一部分的支承件间的距离与其它的支承件间的距离不同。或者，基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；使所述多个支承件中的至少一部分与其它的支承件独立地移动的支承件移动部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件。
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公开(公告)号：CN109306452B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201810657050.5
申请日：2018-06-25
申请人： 佳能特机株式会社
摘要： 本发明提供一种真空蒸镀装置，包括：真空腔室；移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，构成所述真空腔室的面具有开口，所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分，所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。
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公开(公告)号：CN109306452A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201810657050.5
申请日：2018-06-25
申请人： 佳能特机株式会社
摘要： 本发明提供一种真空蒸镀装置，包括：真空腔室；移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，构成所述真空腔室的面具有开口，所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分，所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。
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公开(公告)号：CN108330448A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810051045.X
申请日：2018-01-19
摘要： 一种减压容器包括外壁，所述外壁包括第一构件。第一构件包括第一基部和第一肋部。第一基部包括具有四边形形状的第一表面。第一肋部设置在所述第一表面上。第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。本发明还涉及一种处理装置、一种处理系统、以及一种制造平板显示器的方法。
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公开(公告)号：CN111519158A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010361030.0
申请日：2018-05-21
申请人： 佳能特机株式会社
摘要： 本发明提供基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法，抑制将基板载置于载置体时的每个基板的偏差。基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件，其特征在于，所述多个支承件的一部分的支承件间的距离与其它的支承件间的距离不同。或者，基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；使所述多个支承件中的至少一部分与其它的支承件独立地移动的支承件移动部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件。
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公开(公告)号：CN108517505B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201810485128.X
申请日：2018-05-21
申请人： 佳能特机株式会社
摘要： 本发明提供基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法，抑制将基板载置于载置体时的每个基板的偏差。基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件，其特征在于，所述多个支承件的一部分的支承件间的距离与其它的支承件间的距离不同。或者，基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；使所述多个支承件中的至少一部分与其它的支承件独立地移动的支承件移动部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件。
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公开(公告)号：CN208055449U
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201820090183.4
申请日：2018-01-19
摘要： 本实用新型涉及一种减压容器，其包括外壁，所述外壁包括第一构件。第一构件包括第一基部和第一肋部。第一基部包括具有四边形形状的第一表面。第一肋部设置在所述第一表面上。第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。本实用新型还涉及一种处理装置和一种处理系统。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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