公开(公告)号：CN1808282A

公开(公告)日：2006-07-26

申请号：CN200610006404.7

申请日：2006-01-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 杉田充朗 ,  近江和明 ,  米原隆夫 ,  辻俊彦 ,  寺师孝昭 ,  香田彻 ,  筒井慎二

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70275

Abstract: 本发明公开了在物体上形成图案的曝光设备，其包括其中排列了每个至少包括一个光源的多个基本曝光单元和在物体上形成光源图像的光学元件的曝光头结构、检测物体表面位置的传感器，以及基于传感器的检测结果通过曝光头结构控制曝光的控制器。当选择性地操作满足预定条件的多个基本曝光单元之一时，所述控制器在物体上形成图案。

公开(公告)号：CN1808282B

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200610006404.7

申请日：2006-01-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 杉田充朗 ,  近江和明 ,  米原隆夫 ,  辻俊彦 ,  寺师孝昭 ,  香田彻 ,  筒井慎二

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70275

Abstract: 本发明公开了在物体上形成图案的曝光设备，其包括其中排列了每个至少包括一个光源的多个基本曝光单元和在物体上形成光源图像的光学元件的曝光头结构、检测物体表面位置的传感器，以及基于传感器的检测结果通过曝光头结构控制曝光的控制器。当选择性地操作满足预定条件的多个基本曝光单元之一时，所述控制器在物体上形成图案。