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公开(公告)号：CN103688205A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201280036063.1
申请日：2012-07-10
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G02B21/365 , G01J9/00 , G02B21/244 , G02B21/245 , G02B21/367 , H04N5/23212
Abstract: 一种摄像装置包括：测量部，被配置为测量对象物的表面形状；摄像部，被配置为通过摄像元件取得在摄像光学系统的像面上的对象物的不同区域的图像；焦点位置检测单元，被配置为检测对象物的焦点位置，在所述焦点位置处，对象物的焦点位置检测点被聚焦在像面上；以及焦点位置确定单元，被配置为基于焦点位置检测单元的检测和测量部的测量，确定在与焦点位置检测点不同的点处的对象物的焦点位置。摄像部基于焦点位置确定单元的确定、在图像被聚焦在摄像元件上的同时摄取不同区域的图像。
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公开(公告)号：CN1808282B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200610006404.7
申请日：2006-01-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70275
Abstract: 本发明公开了在物体上形成图案的曝光设备，其包括其中排列了每个至少包括一个光源的多个基本曝光单元和在物体上形成光源图像的光学元件的曝光头结构、检测物体表面位置的传感器，以及基于传感器的检测结果通过曝光头结构控制曝光的控制器。当选择性地操作满足预定条件的多个基本曝光单元之一时，所述控制器在物体上形成图案。
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公开(公告)号：CN1647249A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03809090.2
申请日：2003-04-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , G21K1/06 , G21K5/02
CPC classification number: G03F7/70916 , B82Y10/00 , G02B17/0663 , G03F7/70033 , G03F7/70175 , G03F7/70941 , H05G2/001
Abstract: 一种曝光设备，将激励激光照射到靶上，并由所产生的等离子体产生用于生成远紫外区或者X射线区的照射光的光源，该曝光设备包括：照射光学系统，使用所述照射光照射形成要转移的图案的反射初缩掩模版，该照射光学系统包括最接近所述光源的第一反射镜；椭球面反射镜，用于在所述照射光学系统中的所述第一反射镜之前会聚所述照射光；以及投影光学系统，将在所述初缩掩模版上反射的图案缩小并投影到要被曝光的对象上，其中，在所述激励激光的光轴方向超过由激励激光产生等离子体的位置的地方的光不干扰包括所述照射和投影光学系统和所述椭球面反射镜的所述曝光设备中的部件。
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公开(公告)号：CN103080809B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201180042667.2
申请日：2011-09-06
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04N5/2256 , G02B27/0994
Abstract: 本公开涉及一种成像设备（1），其包括：照明光学系统（100），包括光源（110）并且被配置为将来自光源的光引导到目标（B）；成像光学系统，被配置为捕获目标的图像；以及多个图像传感器（430），布置在成像光学系统的图像平面上。照明光学系统包括多个积分器(121,122)。从所述多个积分器中的一个积分器射出的光束照射所述多个图像传感器中的至少一个图像传感器，并且从其它积分器射出的光照射所述多个图像传感器中的除通过从所述多个积分器中的所述一个积分器射出的光照射的图像传感器以外的至少一个图像传感器。
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公开(公告)号：CN103180769A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201180051439.1
申请日：2011-10-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G02B21/36
CPC classification number: G02B21/365 , G02B21/362 , G02B21/367
Abstract: 显微镜1包括用于照明对象30的照明器件10、用于形成对象30的图像的光学系统40、以及用于捕捉对象30的图像的成像器件50。成像器件50包括多个成像单元。每个成像单元包括图像传感器和用于移动该图像传感器的移动机构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1199086C
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN02127055.4
申请日：2002-07-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 辻俊彦
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70075
Abstract: 公开一种照明系统，用于照明有均匀照度的照明区域，其中光照射到照明区域的光强重心与光线的中心对准。该照明系统包括：第一反射型积分器；第一聚光反射镜系统，用于在待照明的表面上互相叠加第一反射型积分器的光束；第二反射型积分器；放置在光源与所述第一反射型积分器之间；和第二聚光反射镜系统，用于在第一反射型积分器上互相叠加第二反射型积分器的光束。还公开一种有这种照明系统的曝光设备，和利用该曝光设备的器件制造方法。
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公开(公告)号：CN103180769B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201180051439.1
申请日：2011-10-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G02B21/36
CPC classification number: G02B21/365 , G02B21/362 , G02B21/367
Abstract: 显微镜1包括用于照明对象30的照明器件10、用于形成对象30的图像的光学系统40、以及用于捕捉对象30的图像的成像器件50。成像器件50包括多个成像单元。每个成像单元包括图像传感器和用于移动该图像传感器的移动机构。
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公开(公告)号：CN103176268A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210564443.4
申请日：2012-12-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04N7/18 , G02B21/362 , G02B21/367
Abstract: 本发明涉及显微镜。提供包括图像拾取元件、光源、光学系统、控制单元和传感器的显微镜。控制单元控制通过使用传感器的与图像拾取元件的第一图像拾取事件并行的当执行图像拾取元件的第二图像拾取事件时所需信息的获取。用于显微镜的传感器对包含一对传感器。一对传感器中的第一传感器提供代表第一时间段中的第一区域的环境变量的信号。一对传感器中的第二传感器提供代表第一传感器的代表第一时间段中的第二区域的环境变量的信号的能力的质量，其中，第二传感器与第一传感器相邻。
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公开(公告)号：CN1400507A
公开(公告)日：2003-03-05
申请号：CN02127055.4
申请日：2002-07-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 辻俊彦
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70075
Abstract: 公开一种照明系统，用于照明有均匀照度的照明区域，其中光照射到照明区域的光强重心与光线的中心对准。该照明系统包括：第一反射型积分器；第一聚光反射镜系统，用于在待照明的表面上互相叠加第一反射型积分器的光束；第二反射型积分器；放置在光源与所述第一反射型积分器之间；和第二聚光反射镜系统，用于在第一反射型积分器上互相叠加第二反射型积分器的光束。还公开一种有这种照明系统的曝光设备，和利用该曝光设备的器件制造方法。
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公开(公告)号：CN103181155A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201180051203.8
申请日：2011-10-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04N5/2256 , G02B21/086 , G02B21/367 , G02B27/0905 , G02B27/0961 , G02B27/0994 , H04N5/3454
Abstract: 一种成像装置包括：包含光源并将来自光源的光引向包含对象的被照明表面B的照明光学系统；用于获取通过成像光学系统形成的被照明表面的图像的多个图像传感器；用于测量对象的尺寸的测量单元；和用于基于测量单元的测量结果确定多个图像传感器中的当获取被照明表面的图像时要使用的图像传感器的控制单元。
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