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公开(公告)号:CN100469577C
公开(公告)日:2009-03-18
申请号:CN200410038765.0
申请日:2004-02-06
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: B41J2/14233 , H01L41/0973 , H01L41/316
摘要: 本发明提供一种介质膜构成体、压电致动器以及油墨喷头,其中该介质膜构成体具有基板和在该基板上设置的介质膜,其特征在于,介质膜相对于该基板具有(001)面取向性,其中,该介质膜由下述式(1)表示,u为大于2的实数:u=(Cc/Ca)×(Wa/Wc)……(1)。在上述式(1)中,Cc是面外X射线衍射测定中的介质膜的(001’)面的峰值的计数(在此,1’为Cc最大值时选定的自然数。);Ca是面内X射线衍射测定中的介质膜的(h’00)面的峰值的计数(在此h’为Cc最大值时选定的自然数。);Wc是面外波动曲线X射线衍射测定中的介质膜的(001’)面的峰值的半值宽度;Wa是面内波动曲线X射线衍射测定中的介质膜的(h’00)面的峰值的半值宽度。)
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公开(公告)号:CN1530231A
公开(公告)日:2004-09-22
申请号:CN200410038765.0
申请日:2004-02-06
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: B41J2/14233 , H01L41/0973 , H01L41/316
摘要: 一种介质膜构成体,具有基板和在该基板上设置的介质膜,其特征在于,介质膜相对于该基板具有(00l)面取向性,其中,该介质膜由下述式(1)表示,u为大于2的实数:u=(Cc/Ca)×(Wa/Wc)……(1)。在上述式(1)中,Cc是面外X射线衍射测定的介质膜的(00l′)面的峰值的计数(在此,1′为Cc最大值时选定的自然数。);Ca是面内X射线衍射测定的介质膜的(h′00)面的峰值的计数(在此h′为Cc最大值时选定的自然数。);Wc是面外波动曲线X射线衍射测定的介质膜的(00l′)面的峰值的半值宽度;Wa是面内波动曲线X射线衍谢测定的介质膜的(h′00)面的峰值的半值宽度。)
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