掩模成膜方法及掩模成膜设备

    公开(公告)号:CN101013274A

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200710006325.0

    申请日:2007-02-02

    CPC classification number: H01L51/0011 C23C14/042 H01L51/56

    Abstract: 基板和掩模以高的对准精度彼此紧密粘接。在基板的两端夹在基板支撑部件和平面部件之间的同时,借助于基板挤压部件以凸起形式弯曲基板的中心部分。在掩模支座上,借助于掩模挤压部件相对于基板也以凸起形式弯曲掩模。在进行掩模和基板之间沿平面方向的对准后,使掩模和基板彼此靠近,并在最初阶段使凸起部分彼此紧密粘接,然后,在向后移动基板挤压部件和掩模挤压部件的同时,使基板和掩模的各自的整个表面彼此紧密粘接,可以省略掩模挤压部件。

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