公开(公告)号：CN103080810B

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201180039278.4

申请日：2011-08-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 矢野胜士 ,  藤井宏文 ,  柳泽通雄 ,  德田幸夫

IPC: G02B21/18 ,  G02B21/36

CPC classification number: G02B21/365 ,  G01N21/95607 ,  G02B21/0016

Abstract: 根据本发明的显微镜包括成像单元，该成像单元包括第一照射单元、成像元件和投影光学系统，所述第一照射单元包括照射第一对象的光源，所述成像元件执行所述第一对象的成像，所述投影光学系统将所述第一对象的图像投影到所述成像元件上；测量单元，被配置为测量第二对象，以用于设定在所述成像单元处执行第二对象的成像时使用的成像条件；以及控制器，被配置为同时执行在所述成像单元处的所述第一对象的成像以及在所述测量单元处的所述第二对象的测量。

公开(公告)号：CN108731589A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810194835.3

申请日：2018-03-09

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 打田一平 ,  柳泽通雄

IPC: G01B11/00 ,  B25J19/04 ,  B25J19/00

CPC classification number: H04N5/04 ,  B25J9/1687 ,  B25J9/1697 ,  G01B11/24 ,  G01B11/25 ,  G06T7/521 ,  G06T2207/10152 ,  H04N5/2256 ,  Y10S901/09 ,  Y10S901/47

Abstract: 本发明提供测量装置、处理装置以及物品制造方法。用于测量物体的位置的测量装置包括：照明器，其被配置为照明物体；摄像装置，其被配置为拍摄通过所述照明器照明的物体；计算器，其被配置为基于通过所述摄像装置获得的图像来获得物体的位置；以及控制器，其被配置为控制所述照明器和所述摄像装置。所述控制器输出指示根据测量时间段而确定的定时的定时信息，所述测量时间段是用于使所述照明器照明物体的照明时间段和用于使所述摄像装置拍摄物体的摄像时间段的重叠时间段。

公开(公告)号：CN103080810A

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN201180039278.4

申请日：2011-08-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 矢野胜士 ,  藤井宏文 ,  柳泽通雄 ,  德田幸夫

IPC: G02B21/18 ,  G02B21/36

CPC classification number: G02B21/365 ,  G01N21/95607 ,  G02B21/0016

Abstract: 根据本发明的显微镜包括成像单元，该成像单元包括第一照射单元、成像元件和投影光学系统，所述第一照射单元包括照射第一对象的光源，所述成像元件执行所述第一对象的成像，所述投影光学系统将所述第一对象的图像投影到所述成像元件上；测量单元，被配置为测量第二对象，以用于设定在所述成像单元处执行第二对象的成像时使用的成像条件；以及控制器，被配置为同时执行在所述成像单元处的所述第一对象的成像以及在所述测量单元处的所述第二对象的测量。