公开(公告)号：CN103080810B

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201180039278.4

申请日：2011-08-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 矢野胜士 ,  藤井宏文 ,  柳泽通雄 ,  德田幸夫

IPC: G02B21/18 ,  G02B21/36

CPC classification number: G02B21/365 ,  G01N21/95607 ,  G02B21/0016

Abstract: 根据本发明的显微镜包括成像单元，该成像单元包括第一照射单元、成像元件和投影光学系统，所述第一照射单元包括照射第一对象的光源，所述成像元件执行所述第一对象的成像，所述投影光学系统将所述第一对象的图像投影到所述成像元件上；测量单元，被配置为测量第二对象，以用于设定在所述成像单元处执行第二对象的成像时使用的成像条件；以及控制器，被配置为同时执行在所述成像单元处的所述第一对象的成像以及在所述测量单元处的所述第二对象的测量。

公开(公告)号：CN103080810A

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN201180039278.4

申请日：2011-08-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 矢野胜士 ,  藤井宏文 ,  柳泽通雄 ,  德田幸夫

IPC: G02B21/18 ,  G02B21/36

CPC classification number: G02B21/365 ,  G01N21/95607 ,  G02B21/0016

Abstract: 根据本发明的显微镜包括成像单元，该成像单元包括第一照射单元、成像元件和投影光学系统，所述第一照射单元包括照射第一对象的光源，所述成像元件执行所述第一对象的成像，所述投影光学系统将所述第一对象的图像投影到所述成像元件上；测量单元，被配置为测量第二对象，以用于设定在所述成像单元处执行第二对象的成像时使用的成像条件；以及控制器，被配置为同时执行在所述成像单元处的所述第一对象的成像以及在所述测量单元处的所述第二对象的测量。