固态图像拾取装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN102668080A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201080058403.1

    申请日:2010-12-20

    CPC classification number: H01L27/14621 H01L27/14627

    Abstract: 本发明提供一种固态图像拾取装置,所述固态图像拾取装置包括:被设置在半导体基板中的多个光电转换单元;被设置在光入射的半导体基板的第一主表面侧的第一平坦化层;被设置在第一平坦化层上并包含各对于相应的光电转换单元设置的滤色器的滤色器层;以及被设置在滤色器层上用于减小滤色器之间的高度差的第二平坦化层。在所述固态图像拾取装置中,间隙被设置在与滤色器层中的邻近滤色器之间的边界对应的位置中,间隙延伸到第二平坦化层,并且用于密封间隙的密封层被设置在间隙和第二平坦化层上。

    固态图像拾取装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN102668080B

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201080058403.1

    申请日:2010-12-20

    CPC classification number: H01L27/14621 H01L27/14627

    Abstract: 本发明提供一种固态图像拾取装置,所述固态图像拾取装置包括:被设置在半导体基板中的多个光电转换单元;被设置在光入射的半导体基板的第一主表面侧的第一平坦化层;被设置在第一平坦化层上并包含各对于相应的光电转换单元设置的滤色器的滤色器层;以及被设置在滤色器层上用于减小滤色器之间的高度差的第二平坦化层。在所述固态图像拾取装置中,间隙被设置在与滤色器层中的邻近滤色器之间的边界对应的位置中,间隙延伸到第二平坦化层,并且用于密封间隙的密封层被设置在间隙和第二平坦化层上。

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