公开(公告)号：CN103868471B

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201310674771.4

申请日：2013-12-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 露木智美 ,  安藤利典

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01B11/254 ,  G01B11/0608 ,  G01B11/22 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/25 ,  G01B11/2531 ,  G06T7/50 ,  H04N5/2353

Abstract: 本发明提供一种三维形状测量装置及其控制方法。将用来确定进行三角测量时的位置的至少一个或更多个第一图案的曝光量，设置为大于其他图案的曝光量，以减小第一图案中的散粒噪声的影响，从而提高精度，并且减少整体的电力消耗。为此，通过将多种类型的图案的图案光投影到测量对象上并且捕获测量对象的图像、来对测量对象的三维形状进行测量的三维形状测量装置，控制投影仪单元和图像捕获单元，将第一图案的曝光量设置为大于第一图案之外的图案的曝光量。

公开(公告)号：CN102735427B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210094553.9

申请日：2012-04-01

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 安藤利典

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01M11/0257

Abstract: 本发明公开了一种光学特性测量装置。该光学特性测量装置在多个评估面上获取与被检测的光学系统的图像特性有关的测量值，并且测量光学特性，该光学特性测量装置包括测量值校正单元，其校正评估面上的与射束的线扩散分布和点扩散分布中的一个的宽度或光强度有关的测量值，其中，在测量值与宽度有关的情况下，像面被视为评估基准面，并且，测量值校正单元输出校正值；在测量值与光强度有关的情况下，像面被视为评估基准面，并且，测量值校正单元也输出校正值，并且，基于校正值测量被检测的光学系统的光学特性。

公开(公告)号：CN103868471A

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201310674771.4

申请日：2013-12-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 露木智美 ,  安藤利典

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01B11/254 ,  G01B11/0608 ,  G01B11/22 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/25 ,  G01B11/2531 ,  G06T7/50 ,  H04N5/2353

Abstract: 本发明提供一种三维形状测量装置及其控制方法。将用来确定进行三角测量时的位置的至少一个或更多个第一图案的曝光量，设置为大于其他图案的曝光量，以减小第一图案中的散粒噪声的影响，从而提高精度，并且减少整体的电力消耗。为此，通过将多种类型的图案的图案光投影到测量对象上并且捕获测量对象的图像、来对测量对象的三维形状进行测量的三维形状测量装置，控制投影仪单元和图像捕获单元，将第一图案的曝光量设置为大于第一图案之外的图案的曝光量。

公开(公告)号：CN102735427A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210094553.9

申请日：2012-04-01

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 安藤利典

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01M11/0257

Abstract: 本发明公开了一种光学特性测量装置。该光学特性测量装置在多个评估面上获取与被检测的光学系统的图像特性有关的测量值，并且测量光学特性，该光学特性测量装置包括测量值校正单元，其校正评估面上的与射束的线扩散分布和点扩散分布中的一个的宽度或光强度有关的测量值，其中，在测量值与宽度有关的情况下，像面被视为评估基准面，并且，测量值校正单元输出校正值；在测量值与光强度有关的情况下，像面被视为评估基准面，并且，测量值校正单元也输出校正值，并且，基于校正值测量被检测的光学系统的光学特性。