公开(公告)号：CN1243690C

公开(公告)日：2006-03-01

申请号：CN200310120357.5

申请日：2003-10-29

Applicant: 住友金属矿山株式会社

Inventor： 阿部能之 ,  石山典子 ,  小原刚

IPC: C04B35/46 ,  C04B35/622 ,  H01B1/08 ,  C23C14/34

CPC classification number: C04B35/01 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6584 ,  C04B2235/664 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/79 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9653 ,  H01B1/08

Abstract: 本发明提供了一种用于溅射靶的氧化物烧结体，其中主要成分是氧化铟，并包含使Ti/In的原子比率为0.003至0.120的钛，并且其电阻率为1kΩcm或更小。

公开(公告)号：CN1498875A

公开(公告)日：2004-05-26

申请号：CN200310120357.5

申请日：2003-10-29

Applicant: 住友金属矿山株式会社

Inventor： 阿部能之 ,  石山典子 ,  小原刚

IPC: C04B35/46 ,  C04B35/622 ,  H01B1/08 ,  C23C14/34

CPC classification number: C04B35/01 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6584 ,  C04B2235/664 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/79 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9653 ,  H01B1/08

Abstract: 本发明提供了一种用于溅射靶的氧化物烧结体，其中主要成分是氧化铟，并包含使Ti/In的原子比率为0.003至0.120的钛，并且其电阻率为1kΩcm或更小。