公开(公告)号：CN102134700B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201010583539.6

申请日：2010-12-07

Applicant: 住友金属矿山株式会社

Inventor： 阿部能之 ,  和气理一郎 ,  桑原正和 ,  前野泰行

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/24

CPC classification number: H01B1/08 ,  C04B35/01 ,  C04B35/6261 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6585 ,  C04B2235/6586 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C23C14/0015 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟作为主要成分且铈含量以Ce/In原子数比为超过0.110且为0.538以下的烧结体构成，CIE1976色系中的L*值为62～95。由于L*值为62～95的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽中的氧气导入量少，也能够以真空蒸镀法制造出波长550nm下的折射率为2.15～2.51的、低电阻且可见光～近红外光区域中为高透过性的高折射率透明膜，并且，由于氧气导入量少，所以能够减小膜与蒸镀材料之间的组成偏差。

公开(公告)号：CN102134700A

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN201010583539.6

申请日：2010-12-07

Applicant: 住友金属矿山株式会社

Inventor： 阿部能之 ,  和气理一郎 ,  桑原正和 ,  前野泰行

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/24 ,  G02B1/11 ,  G02B11/00

CPC classification number: H01B1/08 ,  C04B35/01 ,  C04B35/6261 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6585 ,  C04B2235/6586 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C23C14/0015 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟作为主要成分且铈含量以Ce/In原子数比为超过0.110且为0.538以下的烧结体构成，CIE1976色系中的L*值为62～95。由于L*值为62～95的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽中的氧气导入量少，也能够以真空蒸镀法制造出波长550nm下的折射率为2.15～2.51的、低电阻且可见光～近红外光区域中为高透过性的高折射率透明膜，并且，由于氧气导入量少，所以能够减小膜与蒸镀材料之间的组成偏差。