用于制造接触探针的方法

    公开(公告)号:CN103270422A

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201280004195.6

    申请日:2012-08-16

    Abstract: 一种用于制造接触探针(10)的方法,提供以下步骤:光刻步骤,通过光刻在形成于导电基板上的抗蚀剂中形成接触探针(10)的图案、位于接触探针周围的框架形的系杆(20)的图案以及连接这两个图案的连接部(30)的图案,从而获得树脂模具;电铸步骤,通过电铸在树脂模具上形成由金属材料制成的层,以形成金属结构(1),在该金属结构中,接触探针(10)与系杆(20)通过连接部(30)一体形成;移除步骤,移除树脂模具和导电基板;电镀步骤,在移除步骤之后,通过电镀在金属结构(1)的表面上形成镀层;以及分离步骤,在电镀步骤之后,使得接触探针(10)与金属结构(1)分离。因此,能够提供用于制造接触探针(10)的方法,通过该方法,具有均匀厚度的镀层能够容易地形成在表面上。

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