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公开(公告)号：CN112041745A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201980027929.4
申请日：2019-04-19
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/038 , C08G59/08 , C08G59/62 , G03F7/20 , H01L21/312
Abstract: 本发明的凸块保护膜用感光性树脂组合物包含热固性树脂、感光剂和溶剂，将在硅基板上涂敷该凸块保护膜用感光性树脂组合物之后进行干燥而得到的厚度15μm的干燥膜作为感光性树脂膜，将依次实施了曝光i线的第一处理、进行曝光后加热的第二处理和进行喷雾显影的第三处理之后的感光性树脂膜作为显影后感光膜，将实施了进行显影后加热的第四处理之后的显影后感光膜作为固化后感光膜时，由显影后感光膜提取的第一提取液的pH1为3.0～5.0，由固化后感光膜提取的第二提取液的pH2比pH1高0.1～1.0。
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公开(公告)号：CN112041745B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN201980027929.4
申请日：2019-04-19
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/038 , C08G59/08 , C08G59/62 , G03F7/20 , H01L21/312
Abstract: 本发明的凸块保护膜用感光性树脂组合物包含热固性树脂、感光剂和溶剂，将在硅基板上涂敷该凸块保护膜用感光性树脂组合物之后进行干燥而得到的厚度15μm的干燥膜作为感光性树脂膜，将依次实施了曝光i线的第一处理、进行曝光后加热的第二处理和进行喷雾显影的第三处理之后的感光性树脂膜作为显影后感光膜，将实施了进行显影后加热的第四处理之后的显影后感光膜作为固化后感光膜时，由显影后感光膜提取的第一提取液的pH1为3.0～5.0，由固化后感光膜提取的第二提取液的pH2比pH1高0.1～1.0。
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公开(公告)号：CN111033379A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880055884.7
申请日：2018-08-28
Applicant: 住友电木株式会社
Abstract: 本发明的负型感光性树脂组合物包含热固性树脂、光聚合引发剂和含有酸酐作为官能团的偶联剂。其中，优选热固性树脂包含多官能环氧树脂。优选多官能环氧树脂的含量相对于负型感光性树脂组合物的不挥发成分为40～80质量％。优选偶联剂为具有琥珀酸酐作为官能团的、包含烷氧基甲硅烷基的化合物。
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公开(公告)号：CN118922781A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202380029949.1
申请日：2023-03-16
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/023 , G03F7/004 , H01L21/768 , H01L23/532
Abstract: 一种正型感光性树脂组合物，其能够用于半导体装置的再布线层，该感光性树脂组合物包含(A)具有联苯酚结构的酚醛树脂、(B)交联剂和(C)感光剂，将该正型感光性树脂组合物在180℃固化而获得的固化物的拉伸断裂强度为100MPa以上。
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