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公开(公告)号：CN106462061A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580024289.3
申请日：2015-03-25
Applicant: 住友电木株式会社
Inventor： 池田拓司
Abstract: 根据本发明提供一种含有碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)、和光酸产生剂(C)的感光性树脂组合物。式中，A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团，R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基，R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基，a和b表示满足a+b＝3的0～3的整数，c和d表示满足c+d＝3的0～3的整数，m和n表示0～2的整数且m+n≠0。A(Si(R1)a(OR2)b)m(Si(R3)c(OR4)d)n(1)。
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公开(公告)号：CN101833244A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010161446.4
申请日：2004-06-21
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/022 , G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、不含酚性羟基含-CH2OH基的化合物(C)所构成的正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置；及该半导体装置的制造方法。本发明还提供一种正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置及半导体元件；及该半导体装置及显示元件的制造方法，其中，正型感光性树脂组合物含有碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、2种或2种以上的混合溶剂(D)，而混合溶剂(D)含有γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚，γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量％或70重量％以上。
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公开(公告)号：CN1573546A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410060037.X
申请日：2004-06-21
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/037 , H01L21/027 , C08F2/48
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0048 , G03F7/0226 , G03F7/0233
Abstract: 本发明提供一种包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、不含酚性羟基含－CH2OH基的化合物(C)所构成的正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置；及该半导体装置的制造方法。另外，本发明提供一种正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置及半导体元件；及该半导体装置及显示元件的制造方法，其中，正型感光性树脂组合物含有碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、2种或2种以上的混合溶剂(D)，而混合溶剂(D)含有γ－丁内酯及丙二醇单烷基醚，γ－丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量％或70重量％以上。
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公开(公告)号：CN106462061B
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201580024289.3
申请日：2015-03-25
Applicant: 住友电木株式会社
Inventor： 池田拓司
Abstract: 根据本发明提供一种含有碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)、和光酸产生剂(C)的感光性树脂组合物。式中，A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团，R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基，R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基，a和b表示满足a+b＝3的0～3的整数，c和d表示满足c+d＝3的0～3的整数，m和n表示0～2的整数且m+n≠0。A(Si(R1)a(OR2)b)m(Si(R3)c(OR4)d)n (1)。
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公开(公告)号：CN101833244B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010161446.4
申请日：2004-06-21
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/022 , G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、不含酚性羟基含-CH2OH基的化合物(C)所构成的正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置；及该半导体装置的制造方法。本发明还提供一种正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置及半导体元件；及该半导体装置及显示元件的制造方法，其中，正型感光性树脂组合物含有碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、2种或2种以上的混合溶剂(D)，而混合溶剂(D)含有γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚，γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量％或70重量％以上。
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公开(公告)号：CN110809737B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201880044177.8
申请日：2018-06-13
Applicant: 住友电木株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其包含：特定结构的硅烷化合物、碱溶性树脂和感光剂，该特定结构的硅烷化合物具有仲胺结构和在分子的两个末端的特定的含硅结构。并且，本发明提供一种树脂膜，其通过使该感光性树脂组合物固化而形成。并且，本发明提供一种电子装置，其包括该树脂膜。作为碱溶性树脂，优选为聚酰胺树脂。作为感光剂，优选为重氮醌化合物。
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公开(公告)号：CN110809737A
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201880044177.8
申请日：2018-06-13
Applicant: 住友电木株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其包含：特定结构的硅烷化合物、碱溶性树脂和感光剂，该特定结构的硅烷化合物具有仲胺结构和在分子的两个末端的特定的含硅结构。并且，本发明提供一种树脂膜，其通过使该感光性树脂组合物固化而形成。并且，本发明提供一种电子装置，其包括该树脂膜。作为碱溶性树脂，优选为聚酰胺树脂。作为感光剂，优选为重氮醌化合物。
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公开(公告)号：CN1573546B
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200410060037.X
申请日：2004-06-21
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/037 , H01L21/027 , C08F2/48
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0048 , G03F7/0226 , G03F7/0233
Abstract: 本发明提供一种包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、不含酚性羟基含-CH2OH基的化合物(C)所构成的正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置；及该半导体装置的制造方法。另外，本发明提供一种正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置及半导体元件；及该半导体装置及显示元件的制造方法，其中，正型感光性树脂组合物含有碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、2种或2种以上的混合溶剂(D)，而混合溶剂(D)含有γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚，γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量％或70重量％以上。
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