公开(公告)号：CN101535377A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200780042489.7

申请日：2007-10-23

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 寺川耕司

IPC: C08G73/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0226 ,  C08G73/1025 ,  C08G73/18 ,  Y10T428/10

Abstract: 本发明提供一种双(氨基苯酚)衍生物，其是作为正型感光性树脂组合物用聚酰胺树脂类的原料使用的双(氨基苯酚)衍生物，其特征在于，在两者的氨基的邻接部位上具有取代基；一种聚酰胺树脂类，其由来自双(氨基苯酚)及羧酸的结构构成，该双(氨基苯酚)的特征在于，在两者的氨基的邻接部位上具有取代基。根据本发明，能够提供一种高灵敏度且即使低温下固化时环化率也高的使用聚苯并噁唑前躯体树脂的正型感光性树脂组合物，另外，还提供一种高灵敏度且即使低温下固化时吸水率也低的使用具有酰亚胺结构、酰亚胺前躯体结构或酰胺酸酯结构的聚酰胺树脂的正型感光性树脂组合物。

公开(公告)号：CN101535377B

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200780042489.7

申请日：2007-10-23

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 寺川耕司

IPC: C08G73/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0226 ,  C08G73/1025 ,  C08G73/18 ,  Y10T428/10

Abstract: 本发明提供一种双(氨基苯酚)衍生物，其是作为正型感光性树脂组合物用聚酰胺树脂类的原料使用的双(氨基苯酚)衍生物，其特征在于，在两者的氨基的邻接部位上具有取代基；一种聚酰胺树脂类，其由来自双(氨基苯酚)及羧酸的结构构成，该双(氨基苯酚)的特征在于，在两者的氨基的邻接部位上具有取代基。根据本发明，能够提供一种高灵敏度且即使低温下固化时环化率也高的使用聚苯并噁唑前躯体树脂的正型感光性树脂组合物，另外，还提供一种高灵敏度且即使低温下固化时吸水率也低的使用具有酰亚胺结构、酰亚胺前躯体结构或酰胺酸酯结构的聚酰胺树脂的正型感光性树脂组合物。

公开(公告)号：CN101600994B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN200880003587.4

申请日：2008-02-18

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 真壁裕明 ,  寺川耕司

IPC: G03F7/023 ,  H01L21/027 ,  C08G73/06 ,  H01L21/312

CPC classification number: H01L21/02118 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  C08L79/04 ,  C08L79/08 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0233 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/312 ,  Y10T428/31721

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有碱可溶性树脂和感光剂，该碱可溶性树脂具有聚苯并噁唑前躯体结构和聚酰亚胺前躯体结构中的至少一者，其特征在于，上述碱可溶性树脂在250℃下的环化率设为[A]％、在300℃下的环化率设为[B]％时，[A]/[B]为0.70以上。根据本发明，能够提供一种高灵敏度且半导体装置的生产率高的感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜及使用它们的半导体装置和显示装置。

公开(公告)号：CN101600994A

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：CN200880003587.4

申请日：2008-02-18

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 真壁裕明 ,  寺川耕司

IPC: G03F7/023 ,  H01L21/027 ,  C08G73/06 ,  H01L21/312

CPC classification number: H01L21/02118 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  C08L79/04 ,  C08L79/08 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0233 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/312 ,  Y10T428/31721

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有碱可溶性树脂和感光剂，该碱可溶性树脂具有聚苯并噁唑前躯体结构和聚酰亚胺前躯体结构中的至少一者，其特征在于，上述碱可溶性树脂在250℃下的环化率设为[A]％、在300℃下的环化率设为[B]％时，[A]/[B]为0.70以上。根据本发明，能够提供一种高灵敏度且半导体装置的生产率高的感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜及使用它们的半导体装置和显示装置。