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公开(公告)号：CN102598158B
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201080048041.8
申请日：2010-10-26
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C23C14/086 , B32B2307/202 , B32B2307/412 , B32B2307/724 , B32B2307/726 , B32B2457/00 , C23C14/562 , C23C16/401 , C23C16/503 , C23C16/545 , H01L51/0097 , H01L51/5253 , Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种可制造即使弯曲阻隔性及导电性也难以降低的层叠膜的方法。在该方法中，通过在树脂膜上形成阻隔膜及透明导电膜来制造层叠膜。阻隔膜的形成通过辊间放电等离子体CVD法来进行。透明导电膜的形成优选通过物理气相沉积法来形成。作为树脂膜，优选使用聚酯树脂膜或聚烯烃树脂膜。
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公开(公告)号：CN102326447A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201080008561.6
申请日：2010-02-23
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G02B5/045 , G02B3/0056 , H01L51/0096 , H01L51/5275 , Y02E10/549
Abstract: 本发明的目的在于，提供能够实现高的光取出效率的基板，通过使用该基板而提供高发光效率的有机EL发光装置。本发明涉及基板(1)，其为具有透明基板(10)和集光结构体层(30)的基板(1)，该集光结构体层(30)含有多个锥形或半球形的结构体(25)，该多个锥形或半球形的结构体(25)的底面在同一平面上。该结构体(25)优选为圆锥、四角锥或三角锥的形状的结构体。
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公开(公告)号：CN102387920B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201080015879.7
申请日：2010-04-08
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: B32B9/04 , B32B15/085 , B32B15/09 , B32B27/32 , B32B27/36 , C23C16/42 , G02F1/1333 , H01L31/042 , H01L51/50 , H05B33/04
CPC classification number: C23C16/545 , B32B15/08 , B32B27/281 , B32B27/302 , B32B27/306 , B32B27/32 , B32B27/325 , B32B27/34 , B32B27/36 , B32B27/365 , B32B2255/10 , B32B2255/20 , B32B2307/306 , B32B2307/31 , B32B2307/412 , B32B2307/7242 , B32B2307/732 , B32B2439/40 , B32B2439/60 , B32B2553/00 , C23C16/401 , C23C16/505 , H01L51/448 , H01L51/5237 , H01L51/5253 , Y10T428/10 , Y10T428/1064 , Y10T428/1068 , Y10T428/1317 , Y10T428/26 , Y10T428/265
Abstract: 本发明涉及一种气体阻隔性层叠膜，其具备基材和在所述基材的至少单侧上所形成的至少1层薄膜层，其中，所述薄膜层中的至少1层满足下述条件中的至少1个条件，满足硅分布曲线、氧分布曲线及碳分布曲线的条件(i)～(iii)，以及电子束透射率曲线具有至少1个极值。本发明的气体阻隔性层叠膜不但具有足够的气体阻隔性，而且在弯曲后可充分抑制气体阻隔性的降低。本发明的气体阻隔性层叠膜非常适用于使用有机电致发光元件(有机EL元件)的柔性照明、有机薄膜太阳能电池、液晶显示器等。
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公开(公告)号：CN103154313A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180048181.X
申请日：2011-10-05
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C16/44 , C23C16/54 , H01L21/314 , H01L21/316
CPC classification number: C23C16/401 , C23C16/45523 , C23C16/50 , C23C16/52 , C23C16/545
Abstract: 一种形成具有充分的阻气性且具有耐屈曲性的阻气性层叠膜的成膜装置。该成膜装置具有如下：真空室，其在内部收容基材；气体供给装置，其向该真空室内供给成膜气体，该成膜气体包含作为薄膜的原料的有机金属化合物和与该有机金属化合物发生反应的反应气体；一对电极，其配置在上述真空室内；等离子体发生用电源，其向这一对电极外加交流电力，使成膜气体的等离子体发生；控制部，其控制上述气体供给装置或上述等离子体发生用电源的任意一方或两方，切换第一反应条件和第二反应条件，所述第一反应条件是，通过所述有机金属化合物和反应气体反应，使含形成有机金属化合物的金属元素或半金属元素且不含碳的化合物生成，所述第二反应条件是，通过所述有机金属化合物和所述反应气体发生反应，使含形成有机金属化合物的碳和金属元素或半金属元素的含碳化合物生成。
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公开(公告)号：CN102150221A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200980135632.6
申请日：2009-09-11
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 黑田俊也
CPC classification number: H01L33/42 , C23C14/086 , C23C14/5806 , H01L51/442 , H01L51/5206 , H01L2251/308
Abstract: 本发明涉及透明电极膜的改性方法，该透明电极膜的改性方法是具备基板、和在该基板上形成的透明电极膜的带透明电极膜的基板上的透明电极膜的改性方法，其中使用闪光灯对上述透明电极膜照射光脉冲持续时间为0.1-10毫秒的闪光，加热上述透明电极膜，由此实施退火处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104395067B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201380020136.2
申请日：2013-04-11
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: B32B3/30 , B32B2250/02 , C23C16/401 , C23C16/545 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明提供一种层叠膜，其基材的表面已平坦化，且气体阻隔性优异。在具有基材(2)和在基材(2)的表面上形成有薄膜层(3)的层叠膜(1)中，在垂直于基材(2)的表面的方向的截面上，将对基材的表面(21)的一个端部(211)和另一个端部(212)进行连结的方向设为(X)方向，并将垂直于(X)方向的方向设为(Y)方向，求出通过基材的表面(21)上的凸起部(23)的边缘(231)且平行于(X)方向的线段(x1)与通过凸起部(23)的顶点(232)且平行于(Y)方向的线段(y1)的交点(p1)，并将线段(y1)的顶点(232)与交点(p1)之间的距离设为a，且将线段(x1)的边缘(231)与交点(p1)之间的距离设为b，将凸起部(23)附近的平坦部(211)上的薄膜层(3)的厚度设为h；其中，所述截面是设定为使a/b的值成为最大的截面，所述表面(21)的所有凸起部(23)均满足由式(1)表示的关系：a/b＜0.7(a/h)‑1+0.31……(1)。
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公开(公告)号：CN103154313B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201180048181.X
申请日：2011-10-05
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C16/44 , C23C16/54 , H01L21/314 , H01L21/316
CPC classification number: C23C16/401 , C23C16/45523 , C23C16/50 , C23C16/52 , C23C16/545
Abstract: 一种形成具有充分的阻气性且具有耐屈曲性的阻气性层叠膜的成膜装置。该成膜装置具有如下：真空室，其在内部收容基材；气体供给装置，其向该真空室内供给成膜气体，该成膜气体包含作为薄膜的原料的有机金属化合物和与该有机金属化合物发生反应的反应气体；一对电极，其配置在上述真空室内；等离子体发生用电源，其向这一对电极外加交流电力，使成膜气体的等离子体发生；控制部，其控制上述气体供给装置或上述等离子体发生用电源的任意一方或两方，切换第一反应条件和第二反应条件，所述第一反应条件是，通过所述有机金属化合物和反应气体反应，使含形成有机金属化合物的金属元素或半金属元素且不含碳的化合物生成，所述第二反应条件是，通过所述有机金属化合物和所述反应气体发生反应，使含形成有机金属化合物的碳和金属元素或半金属元素的含碳化合物生成。
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公开(公告)号：CN104395067A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380020136.2
申请日：2013-04-11
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: B32B3/30 , B32B2250/02 , C23C16/401 , C23C16/545 , Y10T428/24355 , B32B9/045 , B32B2307/7242 , B32B2439/00 , B32B2439/70
Abstract: 本发明提供一种层叠膜，其基材的表面已平坦化，且气体阻隔性优异。在具有基材(2)和在基材(2)的表面上形成有薄膜层(3)的层叠膜(1)中，在垂直于基材(2)的表面的方向的截面上，将对基材的表面(21)的一个端部(211)和另一个端部(212)进行连结的方向设为(X)方向，并将垂直于(X)方向的方向设为(Y)方向，求出通过基材的表面(21)上的凸起部(23)的边缘(231)且平行于(X)方向的线段(x1)与通过凸起部(23)的顶点(232)且平行于(Y)方向的线段(y1)的交点(p1)，并将线段(y1)的顶点(232)与交点(p1)之间的距离设为a，且将线段(x1)的边缘(231)与交点(p1)之间的距离设为b，将凸起部(23)附近的平坦部(211)上的薄膜层(3)的厚度设为h；其中，所述截面是设定为使a/b的值成为最大的截面，所述表面(21)的所有凸起部(23)均满足由式(1)表示的关系：a/b＜0.7(a/h)-1+0.31……(1)。
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公开(公告)号：CN102150221B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN200980135632.6
申请日：2009-09-11
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 黑田俊也
CPC classification number: H01L33/42 , C23C14/086 , C23C14/5806 , H01L51/442 , H01L51/5206 , H01L2251/308
Abstract: 本发明涉及透明电极膜的改性方法，该透明电极膜的改性方法是具备基板、和在该基板上形成的透明电极膜的带透明电极膜的基板上的透明电极膜的改性方法，其中使用闪光灯对上述透明电极膜照射光脉冲持续时间为0.1-10毫秒的闪光，加热上述透明电极膜，由此实施退火处理。
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公开(公告)号：CN102598158A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080048041.8
申请日：2010-10-26
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C23C14/086 , B32B2307/202 , B32B2307/412 , B32B2307/724 , B32B2307/726 , B32B2457/00 , C23C14/562 , C23C16/401 , C23C16/503 , C23C16/545 , H01L51/0097 , H01L51/5253 , Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种可制造即使弯曲阻隔性及导电性也难以降低的层叠膜的方法。在该方法中，通过在树脂膜上形成阻隔膜及透明导电膜来制造层叠膜。阻隔膜的形成通过辊间放电等离子体CVD法来进行。透明导电膜的形成优选通过物理气相沉积法来形成。作为树脂膜，优选使用聚酯树脂膜或聚烯烃树脂膜。
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