公开(公告)号：CN101401169B

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN200780008594.9

申请日：2007-03-15

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 服部武司 ,  长谷川彰 ,  重里有三

IPC: H01B5/14 ,  C23C14/58 ,  C01G19/00 ,  C23C14/34 ,  H01B13/00

CPC classification number: C23C14/086 ,  C01G9/02 ,  C01G19/00 ,  C01G19/02 ,  C01P2004/03 ,  C01P2006/40 ,  C23C14/3414

Abstract: 本发明提供一种导电性及蚀刻特性优异的透明导电膜及其制造方法。透明导电膜含有Zn、Sn和O，Zn相对于Zn与Sn合计量的摩尔比Zn/(Zn+Sn)为0.41～0.55，且为非晶态。透明导电膜的制造方法包括使用含有Zn、Sn和O，Zn相对于Zn与Sn合计量的摩尔比Zn/(Zn+Sn)为0.53～0.65的烧结体作为靶，在惰性气体气氛下进行溅射的工序。

公开(公告)号：CN101401169A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：CN200780008594.9

申请日：2007-03-15

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 服部武司 ,  长谷川彰 ,  重里有三

IPC: H01B5/14 ,  C23C14/58 ,  C01G19/00 ,  C23C14/34 ,  H01B13/00

CPC classification number: C23C14/086 ,  C01G9/02 ,  C01G19/00 ,  C01G19/02 ,  C01P2004/03 ,  C01P2006/40 ,  C23C14/3414

Abstract: 本发明提供一种导电性及蚀刻特性优异的透明导电膜及其制造方法。透明导电膜含有Zn、Sn和O，Zn相对于Zn与Sn合计量的摩尔比Zn/(Zn+Sn)为0.41～0.55，且为非晶态。透明导电膜的制造方法包括使用含有Zn、Sn和O，Zn相对于Zn与Sn合计量的摩尔比Zn/(Zn+Sn)为0.53～0.65的烧结体作为靶，在惰性气体气氛下进行溅射的工序。

公开(公告)号：CN101605735A

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200880001949.6

申请日：2008-01-08

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 长谷川彰 ,  服部武司 ,  重里有三

IPC: C04B35/453 ,  C23C14/08 ,  C23C14/24 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00

CPC classification number: C23C14/086 ,  C04B35/457 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3293 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明提供一种透明导电膜用材料。透明导电膜用材料包含复合金属氧化物，该复合金属氧化物中含有选自Zn、Sn、O、及作为掺杂元素的元素周期表第5族～第10族元素中的至少一种元素。

公开(公告)号：CN101627145B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200880007427.7

申请日：2008-03-14

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 长谷川彰 ,  服部武司 ,  重里有三

IPC: C23C14/08 ,  C04B35/453 ,  C04B35/457 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00

CPC classification number: C23C14/086 ,  C04B35/453 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3231 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3289 ,  C04B2235/3291 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/3298

Abstract: 本发明提供透明导电膜用材料以及透明导电膜。透明导电膜用材料包含复合金属氧化物，所述复合金属氧化物含有Zn、Sn、O以及作为掺杂元素的选自Sc、Bi、Cu、Y、La、Ag和Au中的至少1种。

公开(公告)号：CN101627145A

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200880007427.7

申请日：2008-03-14

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 长谷川彰 ,  服部武司 ,  重里有三

IPC: C23C14/08 ,  C04B35/453 ,  C04B35/457 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00

CPC classification number: C23C14/086 ,  C04B35/453 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3231 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3289 ,  C04B2235/3291 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/3298

Abstract: 本发明提供透明导电膜用材料以及透明导电膜。透明导电膜用材料包含复合金属氧化物，所述复合金属氧化物含有Zn、Sn、O以及作为掺杂元素的选自Sc、Bi、Cu、Y、La、Ag和Au中的至少1种。