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公开(公告)号：CN1916233B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200610110848.5
申请日：2006-08-15
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种有机金属化合物供给容器，在容器上部配设载气导入管的前端部，底部配设载气导出管的前端部，且在该容器内填充载体担载有机金属化合物而构成，该载体担载有机金属化合物是在相对于有机金属化合物惰性的载体上被覆常温下固体的有机金属化合物而构成，该有机金属化合物供给容器的特征在于，载气导入管的前端部相对于水平方向向斜下方倾斜20～50°而配设。由此提供能够获得具有一定的重复性的有机金属化合物的蒸发量，增加载气流量并增加有机金属化合物的气化量时，能够减少填充的有机金属化合物的使用率的降低的有机金属化合物供给容器。
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公开(公告)号：CN101376967A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200810214935.4
申请日：2008-08-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C16/448 , H01L21/00
Abstract: 本发明提供一种有机金属化合物供给容器，在容器上部配设载气导入管的前端部，在底部配设载气导出管的前端部，且在该容器内填充载体担载有机金属化合物而构成，该载体担载有机金属化合物是在相对于有机金属化合物为惰性的载体上被覆常温下固体的有机金属化合物而构成，其特征在于，以由载气导入管的前端部供给的载气在将容器设置为垂直时向相对于其中心轴大致垂直的方向喷出的方式，构成载气导入管的前端部。
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公开(公告)号：CN1916233A
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：CN200610110848.5
申请日：2006-08-15
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种有机金属化合物供给容器，在容器上部配设载气导入管的前端部，底部配设载气导出管的前端部，且在该容器内填充载体担载有机金属化合物而构成，该载体担载有机金属化合物是在相对于有机金属化合物惰性的载体上被覆常温下固体的有机金属化合物而构成，该有机金属化合物供给容器的特征在于，载体气体导入管的前端部相对于水平方向向斜下方倾斜20～50°而配设。由此提供能够获得具有一定的重复性的有机金属化合物的蒸发量，增加载气流量并增加有机金属化合物的气化量时，能够减少填充的有机金属化合物的使用率的降低的有机金属化合物供给容器。
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