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公开(公告)号：CN101376967A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200810214935.4
申请日：2008-08-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C16/448 , H01L21/00
Abstract: 本发明提供一种有机金属化合物供给容器，在容器上部配设载气导入管的前端部，在底部配设载气导出管的前端部，且在该容器内填充载体担载有机金属化合物而构成，该载体担载有机金属化合物是在相对于有机金属化合物为惰性的载体上被覆常温下固体的有机金属化合物而构成，其特征在于，以由载气导入管的前端部供给的载气在将容器设置为垂直时向相对于其中心轴大致垂直的方向喷出的方式，构成载气导入管的前端部。
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公开(公告)号：CN101240446A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200710193671.4
申请日：2007-11-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C30B25/14
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C16/4483
Abstract: 本发明提供一种有机金属化合物供给装置，其包含容器，在室温下向该容器中填充固体有机金属化合物并且供给用于使该有机金属化合物升华的载气；支持板，其能够保持在该容器的下部负载于惰性载体上的该有机金属化合物、并且能够使载气通过其中；在该容器上部设置的载气导入口；和在作为该容器底部的该支持板下方设置的载气导出口；其中载气从上方向下方通过在支持板上加载的惰性载体上负载的该有机金属化合物。
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公开(公告)号：CN101240446B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN200710193671.4
申请日：2007-11-23
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C16/4483
Abstract: 本发明提供一种有机金属化合物供给装置，其包含容器，在室温下向该容器中填充固体有机金属化合物并且供给用于使该有机金属化合物升华的载气；支持板，其能够保持在该容器的下部负载于惰性载体上的该有机金属化合物、并且能够使载气通过其中；在该容器上部设置的载气导入口；和在作为该容器底部的该支持板下方设置的载气导出口；其中载气从上方向下方通过在支持板上加载的惰性载体上负载的该有机金属化合物。
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公开(公告)号：CN101981660B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200980111245.9
申请日：2009-03-30
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 安部寿充
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481 , C30B25/14
Abstract: 本发明提供有机金属化合物供给装置，该装置为具有填充常温下为固体的有机金属化合物、供给载气使该有机金属化合物升华的填充容器的有机金属化合物供给装置，其特征在于，还具有将担载在惰性载体上的该有机金属化合物保持在该填充容器内、且能够通过载气的支撑板，位于该填充容器的上部的载气导入口，位于该填充容器的底部、在该支撑板的下方开口的载气导出口和安装在该支撑板与该载气导出口之间的比该载气导出口的口径大的挡板，使载气从上方向下方通过填充在支撑板上的担载在惰性载体上的该有机金属化合物中。
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公开(公告)号：CN101981660A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980111245.9
申请日：2009-03-30
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 安部寿充
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481 , C30B25/14
Abstract: 本发明提供有机金属化合物供给装置，该装置为具有填充常温下为固体的有机金属化合物、供给载气使该有机金属化合物升华的填充容器的有机金属化合物供给装置，其特征在于，还具有将担载在惰性载体上的该有机金属化合物保持在该填充容器内、且能够通过载气的支撑板，位于该填充容器的上部的载气导入口，位于该填充容器的底部、在该支撑板的下方开口的载气导出口和安装在该支撑板与该载气导出口之间的比该载气导出口的口径大的挡板，使载气从上方向下方通过填充在支撑板上的担载在惰性载体上的该有机金属化合物中。
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