公开(公告)号：CN101225512A

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200710167494.2

申请日：2007-10-29

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 乾胜美 ,  井手直行 ,  高桥基

IPC: C23C16/448 ,  C30B25/14

CPC classification number: C01G15/00 ,  B01D7/00 ,  C23C16/4481

Abstract: 一种蒸发固体有机金属化合物的方法，其中所述方法包括将固体有机金属化合物填充到容器中，将载气引入到容器，并放出包含有机金属化合物的气体，其中所述固体有机金属化合物是团粒状，并包含惰性载体。

公开(公告)号：CN101240446B

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN200710193671.4

申请日：2007-11-23

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 安部寿充 ,  井手直行

IPC: C23C16/18 ,  C30B25/14

CPC classification number: C23C16/4481 ,  C23C16/4483

Abstract: 本发明提供一种有机金属化合物供给装置，其包含容器，在室温下向该容器中填充固体有机金属化合物并且供给用于使该有机金属化合物升华的载气；支持板，其能够保持在该容器的下部负载于惰性载体上的该有机金属化合物、并且能够使载气通过其中；在该容器上部设置的载气导入口；和在作为该容器底部的该支持板下方设置的载气导出口；其中载气从上方向下方通过在支持板上加载的惰性载体上负载的该有机金属化合物。

公开(公告)号：CN101240446A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200710193671.4

申请日：2007-11-23

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 安部寿充 ,  井手直行

IPC: C30B25/14

CPC classification number: C23C16/4481 ,  C23C16/4483

Abstract: 本发明提供一种有机金属化合物供给装置，其包含容器，在室温下向该容器中填充固体有机金属化合物并且供给用于使该有机金属化合物升华的载气；支持板，其能够保持在该容器的下部负载于惰性载体上的该有机金属化合物、并且能够使载气通过其中；在该容器上部设置的载气导入口；和在作为该容器底部的该支持板下方设置的载气导出口；其中载气从上方向下方通过在支持板上加载的惰性载体上负载的该有机金属化合物。