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公开(公告)号：CN1763049A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510108383.5
申请日：2005-10-13
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C30B29/406 , C07F5/00 , C30B25/02
Abstract: 本发明提供一种三甲基镓以及一种制造该三甲基镓的方法。该三甲基镓具有小于0.1ppm的总有机硅化合物含量；且该方法包括：水解作为原材料的三甲基铝；以一溶剂萃取所含有的有机硅化合物；藉由气相色谱－质谱法对甲基三乙基硅烷进行定量；选择具有小于0.5ppm甲基三乙基硅烷含量的三甲基铝作为原材料；藉由蒸馏进行提纯；接着与氯化镓反应；并且随后蒸馏反应物溶液以获得三甲基镓。
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公开(公告)号：CN1916233A
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：CN200610110848.5
申请日：2006-08-15
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种有机金属化合物供给容器，在容器上部配设载气导入管的前端部，底部配设载气导出管的前端部，且在该容器内填充载体担载有机金属化合物而构成，该载体担载有机金属化合物是在相对于有机金属化合物惰性的载体上被覆常温下固体的有机金属化合物而构成，该有机金属化合物供给容器的特征在于，载体气体导入管的前端部相对于水平方向向斜下方倾斜20～50°而配设。由此提供能够获得具有一定的重复性的有机金属化合物的蒸发量，增加载气流量并增加有机金属化合物的气化量时，能够减少填充的有机金属化合物的使用率的降低的有机金属化合物供给容器。
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公开(公告)号：CN1763049B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200510108383.5
申请日：2005-10-13
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C30B29/406 , C07F5/00 , C30B25/02
Abstract: 本发明提供一种三甲基镓以及一种制造该三甲基镓的方法。该三甲基镓具有小于0.1ppm的总有机硅化合物含量；且该方法包括：水解作为原材料的三甲基铝；以一溶剂萃取所含有的有机硅化合物；藉由气相色谱-质谱法对甲基三乙基硅烷进行定量；选择具有小于0.5ppm甲基三乙基硅烷含量的三甲基铝作为原材料；藉由蒸馏进行提纯；接着与氯化镓反应；并且随后蒸馏反应物溶液以获得三甲基镓。
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公开(公告)号：CN1916233B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200610110848.5
申请日：2006-08-15
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种有机金属化合物供给容器，在容器上部配设载气导入管的前端部，底部配设载气导出管的前端部，且在该容器内填充载体担载有机金属化合物而构成，该载体担载有机金属化合物是在相对于有机金属化合物惰性的载体上被覆常温下固体的有机金属化合物而构成，该有机金属化合物供给容器的特征在于，载气导入管的前端部相对于水平方向向斜下方倾斜20～50°而配设。由此提供能够获得具有一定的重复性的有机金属化合物的蒸发量，增加载气流量并增加有机金属化合物的气化量时，能够减少填充的有机金属化合物的使用率的降低的有机金属化合物供给容器。
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