气体处理方法、气体处理装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115942986A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202180042886.4

    申请日:2021-06-15

    Abstract: 本发明提供能够通过简便的方法将以几百ppm以下这样的低浓度包含处理对象物质的被处理气体分解的技术。本发明的气体处理方法具有以下工序:使在空气中混杂有在常温下显示出挥发性、属于由碳化合物、氮化合物及硫化合物组成的组中的至少一种的对象物质而成的被处理气体通流至箱体内的工序(a);向在箱体内被处理气体所通流的空间内在200℃以下导入臭氧的工序(b);在工序(b)的执行后将被处理气体进行搅拌的工序(c);和在工序(c)的执行后将被处理气体加热至300℃以上的工序(d)。

    准分子灯装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101714497B

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN200910179180.3

    申请日:2009-09-29

    Abstract: 本发明提供一种具备以简便的构造抑制氧气浓度变化了的大气的对流所引起的紫外线的测定值变化的光传感器的准分子灯装置。该准分子灯装置,具有收纳测定从准分子灯(2)所放射的紫外准分子光的光传感器(3)及准分子灯的筐体(4),其特征为:光传感器具有光监测器部(33)、筒状部(31)、及基台部(32),筒状部具有:从基台部侧朝准分子灯(2)侧所形成的渐次小径化部(313),比渐次小径化部靠近准分子灯(2)地形成的最小内径部(314),及由最小内径部朝准分子灯侧所形成的渐次大径化部(315),测定紫外准分子光时,使从气体导入口(321)所导入的惰性气体通过筒状部(31)内,从筒状部的开口(312)放出。

    准分子灯用照度测量装置

    公开(公告)号:CN101832814A

    公开(公告)日:2010-09-15

    申请号:CN201010116036.8

    申请日:2010-02-09

    Abstract: 提供一种基本上能够在大气中简单地测量真空紫外光的强度、还能够降低由局部性的放电、及网状电极等的外部电极的影子引起的测量误差的准分子灯用照度测量装置。包括对真空紫外光进行检测的受光传感器和壳体,在上述壳体中,在与受光传感器的受光面相对的位置上,以其一面向外部开口的状态设有导光路空间;并且设有导入惰性气体的气体导入口、以及从这里延伸到导光路空间的气体流路,该装置还具备从气体导入口导入的惰性气体在上述导光路空间沿着包括受光传感器的受光面的面流通后、从导光路空间的开口排出到外部的气体流通机构,从包括受光传感器的受光面的面的垂直方向俯视,导光路空间的开口的面积比受光传感器的受光面的面积大。

    准分子灯装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101714497A

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200910179180.3

    申请日:2009-09-29

    Abstract: 本发明提供一种具备以简便的构造抑制氧气浓度变化了的大气的对流所引起的紫外线的测定值变化的光传感器的准分子灯装置。该准分子灯装置,具有收纳测定从准分子灯(2)所放射的紫外准分子光的光传感器(3)及准分子灯的筐体(4),其特征为:光传感器具有光监测器部(33)、筒状部(31)、及基台部(32),筒状部具有:从基台部侧朝准分子灯(2)侧所形成的渐次小径化部(313),比渐次小径化部靠近准分子灯(2)地形成的最小内径部(314),及由最小内径部朝准分子灯侧所形成的渐次大径化部(315),测定紫外准分子光时,使从气体导入口(321)所导入的惰性气体通过筒状部(31)内,从筒状部的开口(312)放出。

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