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公开(公告)号：CN114538794A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111331628.6
申请日：2021-11-11
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供能够使灯与被处理物之间的空间适当地成为低氧浓度的空间，并能够在短时间内对被处理物进行紫外线照射处理的紫外线处理装置以及紫外线处理方法。紫外线处理装置(10)具备：准分子灯(20)；灯罩(30)，收容准分子灯(20)，具有取出从准分子灯(20)放射的紫外线的开口(30a)；载物台(40)，以与准分子灯(20)的长度方向正交的方向为输送方向，将被处理物(W)输送至与灯罩(30)的开口(30a)对置的位置且照射紫外线的照射位置；以及气体喷出机构(50)，沿着准分子灯(20)的长度方向向准分子灯(20)与照射位置的被处理物(W)之间的空间喷出惰性气体。
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公开(公告)号：CN102184837B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201110005343.3
申请日：2011-01-05
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 山森贤治
IPC: H01L21/00 , H01L21/268
Abstract: 提供一种灯单元(20)，即使在光源中具备全长1800mm以上的大型的准分子灯(40)，也能够在中间部和端部保持一定的水准的处理效果。该灯单元通过灯保持体(26)支撑准分子灯(40)的两端而在筐体(21)内配置有准分子灯(40)，该准分子灯(40)在放电容器(41)的上壁面(42)及下壁面(43)的外表面设置有电极(46、47)并在放电容器内封入有氙气，在该放电容器内产生准分子放电，所述灯单元的特征在于，在所述准分子灯(40)的长边方向的中间部下方配置有中间支撑体(50)，从下侧支撑准分子灯(40)。
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公开(公告)号：CN100583385C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200510096565.5
申请日：2005-08-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00
CPC classification number: H05B41/2813 , H01J65/046 , H01L21/67115 , Y02B20/22
Abstract: 本发明是提供一种不会使将电力供应给加热机构的电源电路变复杂又大型化，且装置的电路构成简单化的准分子灯照明装置。该准分子灯照明装置具有将稀有气体封装至放电空间的准分子灯(5)、将准分子灯(5)点灯的准分子灯点灯用电源(1，3)、内部配置有准分子灯(5)的灯室(9)、以及使灯室(9)中准分子灯(5)所放射的准分子光透过的玻璃制的窗部(8)，其特征在于，在窗部(8)设有从准分子灯点灯用电源(1)所供电的感应加热线圈(6)和借助于感应加热线圈(6)来感应加热，形成为准分子光可从窗部(8)透过，将窗部(8)加热的感应加热用导体(7)。
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公开(公告)号：CN108687057A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810289463.2
申请日：2018-04-03
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种无论被处理体的搬运速度如何都能够以高稳定性进行光清洗的光照射装置。光照射装置向沿着搬运路径搬运的带状的被处理体的一面照射紫外线，其特征在于，具备：灯罩，沿着搬运路径上的被处理体的一面侧的通过平面具有开口；紫外线灯，设置在所述灯罩内，沿所述被处理体的宽度方向延伸；气体供给单元，向所述灯罩内供给惰性气体；及排气空间形成构件，沿着所述搬运路径上的被处理体的其他面侧的通过平面具有开口，在所述灯罩的开口设有遮蔽体，该遮蔽体在其与所述被处理体的两侧缘部之间形成气体流通阻力用隘路。
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公开(公告)号：CN1741247A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510096565.5
申请日：2005-08-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00
CPC classification number: H05B41/2813 , H01J65/046 , H01L21/67115 , Y02B20/22
Abstract: 本发明是提供一种不会使将电力供应给加热机构的电源电路变复杂又大型化，且装置的电路构成简单化的准分子灯照明装置。该准分子灯照明装置具有将稀有气体封装至放电空间的准分子灯(5)、将准分子灯(5)点灯的准分子灯点灯用电源(1，3)、内部配置有准分子灯(5)的灯室(9)、以及使灯室(9)中准分子灯(5)所放射的准分子光透过的玻璃制的窗部(8)，其特征在于，在窗部(8)设有从准分子灯点灯用电源(1)所供电的感应加热线圈(6)和借助于感应加热线圈(6)来感应加热，形成为准分子光可从窗部(8)透过，将窗部(8)加热的感应加热用导体(7)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119495556A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202410824200.2
申请日：2024-06-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供消除框体的挠曲所引起的问题的光处理装置。光处理装置具备：对沿输送路径输送的被处理体照射紫外光的光源；框体，在内部具有所述光源，并且具有搬入或者搬出所述被处理体的开口；以及减少包围所述开口的所述框体的热挠曲的热挠曲减少部。
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公开(公告)号：CN102671891B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210067052.1
申请日：2012-03-14
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种光照射装置，可防止或抑制附着于被照射物的有机物等的污染物与大气中所包含的污染物质的反应生成物附着于被照射物，所以能够可靠完成所需要的光清洗处理。其特征为，具备：准分子灯；灯罩，以包围该准分子灯的方式设置，具有将来自该准分子灯的光向外部射出的开口和将内部的气体排出的气体排出口；以及气体排出机构，将大气从该灯罩的开口向该灯罩的内部导入，并从该灯罩的气体排出口排出；在上述准分子灯上设置有光遮蔽单元，该光遮蔽单元以该准分子灯的放射光不照射到上述灯罩内的形成气体流通路径的壁面的方式遮蔽该放射光。
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公开(公告)号：CN101714497B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN200910179180.3
申请日：2009-09-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种具备以简便的构造抑制氧气浓度变化了的大气的对流所引起的紫外线的测定值变化的光传感器的准分子灯装置。该准分子灯装置，具有收纳测定从准分子灯(2)所放射的紫外准分子光的光传感器(3)及准分子灯的筐体(4)，其特征为：光传感器具有光监测器部(33)、筒状部(31)、及基台部(32)，筒状部具有：从基台部侧朝准分子灯(2)侧所形成的渐次小径化部(313)，比渐次小径化部靠近准分子灯(2)地形成的最小内径部(314)，及由最小内径部朝准分子灯侧所形成的渐次大径化部(315)，测定紫外准分子光时，使从气体导入口(321)所导入的惰性气体通过筒状部(31)内，从筒状部的开口(312)放出。
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公开(公告)号：CN102184837A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110005343.3
申请日：2011-01-05
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 山森贤治
IPC: H01L21/00 , H01L21/268
Abstract: 提供一种灯单元(20)，即使在光源中具备全长1800mm以上的大型的准分子灯(40)，也能够在中间部和端部保持一定的水准的处理效果。该灯单元通过灯保持体(26)支撑准分子灯(40)的两端而在筐体(21)内配置有准分子灯(40)，该准分子灯(40)在放电容器(41)的上壁面(42)及下壁面(43)的外表面设置有电极(46、47)并在放电容器内封入有氙气，在该放电容器内产生准分子放电，所述灯单元的特征在于，在所述准分子灯(40)的长边方向的中间部下方配置有中间支撑体(50)，从下侧支撑准分子灯(40)。
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公开(公告)号：CN117594478A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202310928798.5
申请日：2023-07-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种即使在使腔室内的臭氧浓度降低而进行了工件的处理的情况下，也能够稳定且均质地进行处理的光处理装置。具备：搬送机构，搬送工件，具有多个搬送辊；主腔室，具有第一搬入口和第一搬出口；分隔部件，在主腔室内，在与工件的搬送方向和搬送辊的旋转轴方向正交的方向上，将多个搬送辊之间的至少一部分划分为处理空间和滞留空间；紫外光源，配置于主腔室的处理空间内，朝向由搬送机构搬送的工件的一面，射出主要发光波长为200nm以下的紫外光；气体导入口，向主腔室内导入工艺气体；以及搬入副腔室，具有第二搬入口和第二搬出口，第二搬出口与第一搬入口连通，搬送辊的至少一部分位于比分隔部件靠近处理空间侧的位置。
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