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公开(公告)号：CN101685759A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200910178623.7
申请日：2009-09-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种准分子灯装置，具备抑制准分子灯的弯曲的移动限制构件，对于被照射物维持均匀的紫外线照射，同时防止来自放电室的电极部的粒子落下。该准分子灯装置，具有：金属制的筐体(2)；及准分子灯(3)，所述准分子灯(3)与筐体(2)分离地被保持于筐体(2)的下方侧，在放电室(31)的外面配设有电极部(32)，在放电室(31)的筐体侧内面具备紫外线反射膜；将从准分子灯(3)所放射的紫外线照射在被处理物(7)上，其特征为：放电室(31)的一方端部被固定保持于筐体(2)，另一方的端部在长边方向移动自如地被保持于筐体(2)，在筐体(2)与位于筐体(2)下方的准分子灯(3)之间，具备限制准分子灯(3)对于筐体(2)向上方移动的移动限制体(5)，移动限制体(5)具备可旋转地设于准分子灯(3)的长边方向的旋转滚子(51)。
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公开(公告)号：CN102709150B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201210164380.3
申请日：2009-04-09
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供具备准分子灯及具备该准分子灯的灯单元，该准分子灯被靠近配置于被照射物的导线保持体。一种准分子灯包括：具有在长度方向上延伸的上下两表面，而且在内部封入发光气体的放电容器；设于上述上下两表面的外部电极；及设于放电容器的端部侧的引线保持体，其特征为：引线保持体包括具有电绝缘性的引线保持部与金属薄板所形成的平坦支撑部，通过由引线保持部与平坦支撑部夹持放电容器，引线保持部是将与一个外部电极电连接的一个引线保持在与放电容器的一个面之间，平坦支撑部是与另一个外部电极电连接，而且抵接于放电容器的另一个平坦面。
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公开(公告)号：CN102671891A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210067052.1
申请日：2012-03-14
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: B08B7/00
Abstract: 提供一种光照射装置，可防止或抑制附着于被照射物的有机物等的污染物与大气中所包含的污染物质的反应生成物附着于被照射物，所以能够可靠完成所需要的光清洗处理。其特征为，具备：准分子灯；灯罩，以包围该准分子灯的方式设置，具有将来自该准分子灯的光向外部射出的开口和将内部的气体排出的气体排出口；以及气体排出机构，将大气从该灯罩的开口向该灯罩的内部导入，并从该灯罩的气体排出口排出；在上述准分子灯上设置有光遮蔽单元，该光遮蔽单元以该准分子灯的放射光不照射到上述灯罩内的形成气体流通路径的壁面的方式遮蔽该放射光。
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公开(公告)号：CN101527255B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200910004700.7
申请日：2009-03-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/268 , B08B7/00 , H01L21/312 , G03F7/26
Abstract: 本发明是目的是提供可将非活性气体快速地充满于准分子灯的周围的紫外线照射装置。本发明的紫外线照射装置，具有：多个准分子灯，所述准分子灯在放电容器内形成的密闭空间中封入有放电气体，并且隔着该密闭空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯且垂直方向的一个方向被开口，及气体供给机构，用来将非活性气体供给给该灯罩的内部。其特征为：在上述灯罩内，空间封闭体被配置于由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。
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公开(公告)号：CN101832814A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010116036.8
申请日：2010-02-09
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01J1/42
Abstract: 提供一种基本上能够在大气中简单地测量真空紫外光的强度、还能够降低由局部性的放电、及网状电极等的外部电极的影子引起的测量误差的准分子灯用照度测量装置。包括对真空紫外光进行检测的受光传感器和壳体，在上述壳体中，在与受光传感器的受光面相对的位置上，以其一面向外部开口的状态设有导光路空间；并且设有导入惰性气体的气体导入口、以及从这里延伸到导光路空间的气体流路，该装置还具备从气体导入口导入的惰性气体在上述导光路空间沿着包括受光传感器的受光面的面流通后、从导光路空间的开口排出到外部的气体流通机构，从包括受光传感器的受光面的面的垂直方向俯视，导光路空间的开口的面积比受光传感器的受光面的面积大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114365260B
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202080063790.1
申请日：2020-06-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 石原肇
Abstract: 一种紫外线照射装置，能够适当地冷却灯并将设置在装置内部的电气部件也适当地冷却，并且能够防止电气部件因臭氧而劣化。紫外线照射装置(10)具备：壳体(11)；分隔板(14)，将壳体(11)的内部区划为冷却部(15a)和光源部(15b)；第1贯通孔(14a)，形成在分隔板(14)，将冷却部(15a)的内部与光源部(15b)的内部连通；光源(灯)(51)，配置在光源部(15b)的内部，放射紫外线；电气部件(41、42)，配置在冷却部(15a)的内部；整流部件，将供给到冷却部(15a)的内部的冷却风向电气部件(41、42)引导；以及排气路(31)，与光源部(15b)的内部连通，与冷却部(15a)的内部不连通。冷却风从冷却部(15a)经过第1贯通孔(14a)向光源部(15b)导入，从光源部(15b)经由排气路(31)被作为排出风排出。
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公开(公告)号：CN118412267A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202311540226.6
申请日：2023-11-17
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种紫外光照射装置，能够提高反馈控制性能。紫外光照射装置具备：长条状的准分子灯，具有朝向照射对象物出射紫外光的光出射面；光量传感器，配置于准分子灯的周围，并检测紫外光；及第一反射构件，配置于准分子灯的周围，并与光出射面的长度方向的一部分相对，从光出射面出射的紫外光在第一反射构件反射而入射到光量传感器。
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公开(公告)号：CN118159356A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202280071474.8
申请日：2022-10-31
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种照射单元和灯单元，使灯的更换作业容易化而降低了损坏灯的风险。具备：灯单元，搭载有准分子灯，该准分子灯具有在第一方向上延伸的发光管、和在发光管的径向上相对地设置的第一电极和第二电极；及壳体，通过灯单元插入该壳体而收容所述准分子灯，灯单元具备：板材；限制构件，形成为从第一主面突出，并限制准分子灯在壳体内的移动；及供电部，在板材堵塞插入口的状态下，设置于位于壳体的外侧的板材的第二主面侧，并对准分子灯进行供电。
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公开(公告)号：CN114365260A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202080063790.1
申请日：2020-06-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 石原肇
Abstract: 一种紫外线照射装置，能够适当地冷却灯并将设置在装置内部的电气部件也适当地冷却，并且能够防止电气部件因臭氧而劣化。紫外线照射装置(10)具备：壳体(11)；分隔板(14)，将壳体(11)的内部区划为冷却部(15a)和光源部(15b)；第1贯通孔(14a)，形成在分隔板(14)，将冷却部(15a)的内部与光源部(15b)的内部连通；光源(灯)(51)，配置在光源部(15b)的内部，放射紫外线；电气部件(41、42)，配置在冷却部(15a)的内部；整流部件，将供给到冷却部(15a)的内部的冷却风向电气部件(41、42)引导；以及排气路(31)，与光源部(15b)的内部连通，与冷却部(15a)的内部不连通。冷却风从冷却部(15a)经过第1贯通孔(14a)向光源部(15b)导入，从光源部(15b)经由排气路(31)被作为排出风排出。
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公开(公告)号：CN101685759B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200910178623.7
申请日：2009-09-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种准分子灯装置，具备抑制准分子灯的弯曲的移动限制构件，对于被照射物维持均匀的紫外线照射，同时防止来自放电室的电极部的粒子落下。该准分子灯装置，具有：金属制的筐体(2)；及准分子灯(3)，所述准分子灯(3)与筐体(2)分离地被保持于筐体(2)的下方侧，在放电室(31)的外面配设有电极部(32)，在放电室(31)的筐体侧内面具备紫外线反射膜；将从准分子灯(3)所放射的紫外线照射在被处理物(7)上，其特征为：放电室(31)的一方端部被固定保持于筐体(2)，另一方的端部在长边方向移动自如地被保持于筐体(2)，在筐体(2)与位于筐体(2)下方的准分子灯(3)之间，具备限制准分子灯(3)对于筐体(2)向上方移动的移动限制体(5)，移动限制体(5)具备可旋转地设于准分子灯(3)的长边方向的旋转滚子(51)。
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