公开(公告)号：CN1554119A

公开(公告)日：2004-12-08

申请号：CN02817715.0

申请日：2002-07-26

Applicant: 伊利诺伊大学受托管理委员会

Inventor： 刘畅 ,  张明 ,  戴维·A·布伦

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/073 ,  G01N2035/1037 ,  G01Q80/00 ,  G03F7/0002 ,  Y10S977/857 ,  Y10S977/874

Abstract: 一种用于纳米光刻的微加工制成的探针阵列(32，100)以及设计和制造该探针阵列的工艺。该探针阵列(32，100)由单独的探针(35，54，72，104)组成，其可以利用双金属热驱动或静电驱动方法被单独地移动。该探针阵列(32，100)可以用于在衬底(24)上以亚1微米的分辨率来制造扩散传递的化合物(26)的痕迹，并可以用作阵列扫描探针显微镜用于后续的读出和所转移的图形的改变。

公开(公告)号：CN1315169C

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN02817715.0

申请日：2002-07-26

Applicant: 伊利诺伊大学受托管理委员会

Inventor： 刘畅 ,  张明 ,  戴维·A·布伦

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/073 ,  G01N2035/1037 ,  G01Q80/00 ,  G03F7/0002 ,  Y10S977/857 ,  Y10S977/874

Abstract: 一种用于纳米光刻的微加工制成的探针阵列(32，100)以及设计和制造该探针阵列的工艺。该探针阵列(32，100)由单独的探针(35，54，72，104)组成，其可以利用双金属热驱动或静电驱动方法被单独地移动。该探针阵列(32，100)可以用于在衬底(24)上以亚1微米的分辨率来制造扩散传递的化合物(26)的痕迹，并可以用作阵列扫描探针显微镜用于后续的读出和所转移的图形的改变。