公开(公告)号：CN117730070A

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202280050236.9

申请日：2022-07-20

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 宫田拓实 ,  上野隆宽 ,  饭田修一 ,  丰田谕史

IPC: C04B41/87 ,  C04B35/117

Abstract: 本公开的陶瓷构件具有由陶瓷构成的基体。基体在基体的表面部具有硼含有层，该硼含有层含有比所述基体的内部的硼含量多的硼。

公开(公告)号：CN109689550B

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN201780039860.8

申请日：2017-06-27

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 饭田真美 ,  竹之下英博 ,  丰田谕史 ,  大田瑞穗 ,  饭田修一

IPC: B65H57/24 ,  D01D11/04

Abstract: 对于本公开的纤维引导件(10)中的与纤维(1)的接丝面而言，由粗糙度曲线求取的水平截距20％的负载长度率Rmr20为15％以下，由粗糙度曲线求取的水平截距50％的负载长度率Rmr50为60％以上。

公开(公告)号：CN103180262A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201180050843.7

申请日：2011-10-26

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 饭田修一 ,  福饭明雄 ,  须惠敏幸

IPC: C04B35/195 ,  H01L21/683

CPC classification number: C04B35/50 ,  C04B35/195 ,  C04B35/505 ,  C04B35/62685 ,  C04B35/645 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3241 ,  C04B2235/3267 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3275 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3427 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2235/9661

Abstract: 本发明提供热膨胀系数小、机械强度优异的堇青石质陶瓷及使用其的半导体制造装置用部件。所述堇青石质陶瓷中，相对于具有以氧化物换算量计含有Mg12.6质量％以上且14.0质量％以下、以氧化物换算量计含有Al33.4质量％以上且34.4质量％以下、及以氧化物换算量计含有Si52.0质量％以上且53.6质量％以下的组成范围的主成分100质量％，含有换算成氧化物时为4.5质量％以上且15.0质量％以下的Y、Yb、Er及Ce中的任一种作为副成分，并且堇青石、二硅酸盐及尖晶石作为晶相存在。该堇青石质陶瓷的热膨胀系数在±120ppb/℃的范围内，四点弯曲强度为170MPa以上，具有低热膨胀性及优异的机械强度。

公开(公告)号：CN110520558B

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN201880021566.9

申请日：2018-03-26

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 饭田修一 ,  丰田谕史 ,  大田瑞穗 ,  竹之下英博

IPC: D01D11/04 ,  B65H57/24

公开(公告)号：CN110520558A

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201880021566.9

申请日：2018-03-26

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 饭田修一 ,  丰田谕史 ,  大田瑞穗 ,  竹之下英博

IPC: D01D11/04 ,  B65H57/24

Abstract: 本发明的纤维引导器具有基体和在该基体上的至少一部分上与纤维接触的接线面。并且，该接线面由氧化铝陶瓷构成，且在氧化铝晶体彼此之间具有硅酸锆相。

公开(公告)号：CN109689550A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780039860.8

申请日：2017-06-27

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 饭田真美 ,  竹之下英博 ,  丰田谕史 ,  大田瑞穗 ,  饭田修一

IPC: B65H57/24 ,  D01D11/04

Abstract: 对于本公开的纤维引导件(10)中的与纤维(1)的接丝面而言，由粗糙度曲线求取的水平截距20％的负载长度率Rmr20为15％以下，由粗糙度曲线求取的水平截距50％的负载长度率Rmr50为60％以上。